回転容積式真空ポンプです。2つの8字型ローターがポンプ室と一定の隙間を保っています。同期して逆回転する1対の高精度ギアを介して、2つのローターは互いに接触せず、ポンプ室内で回転するときに一定のギャップを維持します。
ルーツ真空ポンプの利点は、低い吸入圧力でも大きな排気量が得られることですが、通常のルーツ真空ポンプは単独では使用できず、前段真空ポンプと組み合わせて使用する必要があります。ルーツ真空ポンプは、前段真空ポンプがシステム内の圧力をルーツ真空ポンプが許容する圧力まで圧送した後でなければ始動できない。
ルーツ真空ポンプの前段真空ポンプは、異なる使用圧力とプロセス条件に従って、オイルシール機械真空ポンプ、液体リング真空ポンプ、オイルフリースクリュードライ真空ポンプなどを使用することができます。異なるタイプの前段真空ポンプを装備した後、ルーツ真空ポンプの性能指標は異なります。例えば、真空コーティング、真空溶接炉、真空熱処理炉、大規模な宇宙シミュレーションテスト、マイクロエレクトロニクスと集積回路、ランプと電球の製造、レーザー製造、真空包装、集中排気システム、様々な化学処理、真空脱ガス、真空脱水、真空凍結乾燥、真空蒸留などです。
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