半導体は電子製品の中核であり、情報産業の礎であり、現代産業の「糧」とも呼ばれている。しかし、私たちは半導体を作る中心素材であるシリコン・ウェーハについて、どの程度知っているだろうか。シリコンウェーハとは?シリコン・ウェーハは半導体チップを作るための基本材料で、地殻中で酸素(49%)に次いで2番目に多い元素で、約26%を占めている。シリコンは、自然界では石英(シリカ)の形で高濃度の砂、砂利、岩石に広く存在している。その後、精製や加工といった一連の複雑な工程を経て、集積回路の製造に必要な基本原料であるシリコン・ウェハーとなる。
シリコン・ウェハーの製造は、通常次のようなステップを踏む:
1) 長結晶はCZとFZに分けられ、溶融多結晶は石英るつぼと直接接触するため、石英るつぼの不純物が溶融多結晶を汚染する。CZ法は、現在の半導体シリコンウェーハの主流である大口径(300mm)シリコンウェーハの延伸に適している。多結晶原料が石英ルツボに接触していないため、内部欠陥が少なく、炭素や酸素の含有量も少ないが、価格が高く、コスト高になる。ハイパワーデバイスや一部のハイエンド製品に適している。
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