ZED97はカスタムOEM製品で、1、2、3チャンネルの構成可能な渦電流プローブで、非磁性材料と強磁性材料の試験が可能です。エイミー分解能、CEおよびROHS規格、小型サイズで、13種類の渦電流プローブを装備できます。同時に材料、線形、決断、帯域幅、いろいろな性能は自己最適化である場合もあります。
柔軟で高分解能
ZED97は、今日の高精度位置決めおよび変位検出アプリケーションの要件を満たし、それを上回る性能を備えています。このシステムは、半導体設備におけるフォトリソグラフィステージの位置決めから、ベアリングレースの精密研削における位置フィードバックまで、幅広い用途に最適です。
独自のアーキテクチャに基づく ZED97 は、少量の OEM アプリケーションでも非常に高い費用対効果を発揮します。また、ラボや分析用途では、競合技術の半分の価格で優れた性能を発揮します。
主な特長
1、2、3チャンネル構成
ナノメートルからサブナノメートルの分解能
簡単でコスト効率に優れた性能カスタマイズ
CEおよびRoHS準拠
小型パッケージ
13種類の標準センサー・オプション
動作温度0 ~ 70ºC (補償範囲15 ~ 55ºC)
出力負荷電流<20mA(短絡および過負荷保護付き)
電源電圧: 15 ~ 30V、<50mA (フォールトトレラント保護、短絡保護付き)
短絡の保護)
オプション
アプリケーションの正確なニーズを満たすために標準システムをカスタマイズするために多くのオプションが用意されています。最も一般的なものは、センサーケーブルと特殊校正です。
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