キャパシタンスダイアフラム真空計 ZNX series

アナログ制御機付コンパクト

ZNXセンサーは、静電容量マイクロメトリーの原理に基づいた非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレート（ターゲットとプローブ）が平行平板コンデンサーを形成します。この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを使用することで、0.1 nm以下の精度で測定でき、測定範囲は最大1.25 mm、周波数応答は最大5 kHz、リニアは0.02%です。ZNXセンサーは非接触方式なので、ヒステリシスがありません。測定ポイントでの消費電力はありません。 - ピコメートル単位の高精度測定 - 測定の安定性 - アプリケーション要件に合わせて調整可能 - 幅広いアプリケーションに対応するオプション -主な特長 レンジ20～1250μm サブナノメートルの位置分解能 ゼロヒステリシス 直線性誤差0.02%以下 最大帯域幅5kHz スーパーインバー条件あり； 真空対応オプション 直線性誤差(%):<0.08, <0.08, <0.06, <0.05； ショートレンジμm：20、100、250； ロングレンジμm：50、100、500； アナログ出力：±5、±5、±5、8； 最大帯域幅：5、5、5、12.5Khz。