硬度計 ZHN/SEM

ナノインデンター スキャニングエレクトロンマイクロスコープ向け アプリケーション • - ISO 14577に準拠した硬さ試験 • - 動的試験 試験荷重 • - 0から0.2 N アプリケーション • - 研究＆開発（SEMで） 小さいが強力 スキャニングエレクトロンマイクロスコープ（SEM）にZHN / SEMナノインデンターをインストールすることにより、最大の解像度で試験片を観察しながらマイクロメカニカルな実験を行うことができます。最大の測定範囲を持ち、最大変位測定値は200 µm、最大力は200 mNであり、低振動環境で非常に低ノイズの力と変位センサーを組み合わせています。装置の剛性が非常に高いため、従来の硬度測定を問題なく実行できます。 標準システムは、さまざまなSEMのステージシステムに設置するために開発されましたが、チャンバーの壁に取り付けることもできます。SEMステージの既存の傾斜および位置決めオプションをこのシステムで使用できます。 システム構成： • - センサーとアクチュエーター付き測定ヘッド • - 試験片をXY方向に位置決めするためのピエゾステージシステム、および圧子軸を中心としたオプションでの回転機能 • - 測定ヘッドを試験片に向けて変位させるための剛性の高い機械式Zステージ • - ＰＣとコントローラー • - 使い勝手の良いフレキシブルなソフトウェア • - フィードスルー付きの1つまたは2つのフランジ（SEM固有）