50年以上にわたり、位相シフト干渉計は高精度の表面形状測定器として選ばれてきた技術です。 これらの干渉計は、光学部品、システム、アセンブリの表面形状誤差と透過波面を高速かつ高信頼性で測定します。 研究環境から広範な産業用途まで、レーザー干渉計は品質保証や生産後の解析のための高レベルのデータトレーサビリティを提供します。レーザー干渉計は、製造工程に不可欠なものとなっています。
ZygoのQualifireは、この種の装置における既知の課題に対するソリューションを提供することで、レーザー干渉計の飛躍的な進歩を象徴しています。
位相シフト干渉計への新しいアプローチ
多くの最新システムにおける光学計測に共通するフィゾー設計では、固定された軸上のコヒーレント点光源を使用して干渉計キャビティを照射する。 ほとんどの場合、これは非常にうまく機能する。 位相シフトと固定照明がゴールドスタンダードであることに変わりはありませんが、Zygoは常に改良を模索しており、新しいフライング・スポット・オプションで動的照明の利点を探りました。
Qualifierレーザー干渉計は、多くの斬新な新機能を備えています。
- フライングスポット:新しいコヒーレント・アーティファクト低減技術
- プラノキャビティオートフォーカス
- 安定したズーム
- スマートアクセサリー
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