光学式干渉計 Verifire VTS

自動レーザーNIR

効率的な光学部品測定のための干渉計ワークステーション Verifire™ MSTレーザー干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 可動範囲1mの電動Zステージで、テスト部品の素早い配置が可能になり、曲率半径も得られます。 VTSは、さまざまな干渉計メインフレームと互換性があり、製造や開発のニーズに適したパフォーマンスレベルを選択できます。 お客様の安全要件を満たすライトカーテン モーションインターロックの安全機能も搭載しています。