Brooks instrumentsの熱式質量流量計

動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
精度: 0.35, 1 %

... デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 34.47 bar

... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...

動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10.34 bar
精度: 0.35, 1 %

... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...

体積流量: 0 l/min - 1,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

... 条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 特長 微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応する高速フロー応答 取り外し可能な流量センサ 取付姿勢の影響なし 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 電動式バルブオーバーライド 耐腐食バルブ メリット ...

体積流量: 0 l/min - 36,000 l/min
動作温度: -14 °C - 65 °C
耐圧力: 310, 100, 70 bar

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 特長 NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 幅広い定格流量 ...

体積流量: 40 l/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar

... コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間（セトリングタイム） ...

体積流量: 0 l/min - 50 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 150 psi

... ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 特長 測定専用 幅広い流量 ステンレス製接ガス部材質 片面電源入力 0.5 ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 7 psi - 90 psi

... ハステロイ® 製センサは、熱変性しやすいガスに適した低温で動作可能 設定可能なMultiFlo™ 機能- ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート 有効な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載 VCR継手でスリムなボディ幅 DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース メリット 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより ...

体積流量: 0 l/min - 30,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

... 清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応 オプションの強化されたプロセス内部仕上げ ...

動作温度: 0 °C - 150 °C
耐圧力: 0 psi - 90 psi
精度: 1, 0.35 %

... ・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正（再調整）や再キャリブレーションの必要性を低下させています。 特長 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み) ...