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Brooks instrumentsの質量流量計
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動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
精度: 0.35, 1 %
... デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 34.47 bar
... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...
Brooks Instrument
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10.34 bar
精度: 0.35, 1 %
... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...
Brooks Instrument
質量流量: 10 g/h - 27,000 g/h
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 10 psi - 200 psi
... したパフォーマンスを提供します。 特長 正確なマスフロー測定 正確な密度測定 低質量流量センサパイプによるの100%の流体量(バイパスなし) 独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能 幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行 コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現 マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ 質量流量、体積流量、温度、密度という ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 1,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi
... 条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 特長 微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応する高速フロー応答 取り外し可能な流量センサ 取付姿勢の影響なし 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 電動式バルブオーバーライド 耐腐食バルブ メリット ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 36,000 l/min
動作温度: -14 °C - 65 °C
耐圧力: 310, 100, 70 bar
... 制御を行います。 特長 NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm 幅広い温度と圧力条件に対応 業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能 DeviceNet®, ...
Brooks Instrument
体積流量: 40 l/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
... コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース(LOI)は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間(セトリングタイム) ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 50 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 150 psi
... ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 特長 測定専用 幅広い流量 ステンレス製接ガス部材質 片面電源入力 0.5 ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 7 psi - 90 psi
... な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載 VCR継手でスリムなボディ幅 DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース メリット 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより、ガスの無駄を省き、プロセスの変動性を解消 酸素を透過し、経時で交換が必要なエラストマシールを使用しない MultiFlo™ は、MFC の取り外しやキャリブレーションが必要なく、プロセスガスの切り替えを簡素化し、合理化 ...
Brooks Instrument
体積流量: 0 l/min - 30,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi
... 清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。 特長 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応 オプションの強化されたプロセス内部仕上げ ...
Brooks Instrument
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