Brooks instrumentsのDC流量計

動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
精度: 0.35, 1 %

... デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 34.47 bar

... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...

動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10.34 bar
精度: 0.35, 1 %

... メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類もの ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 7 psi - 90 psi

... な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載 VCR継手でスリムなボディ幅 DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース メリット 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより、ガスの無駄を省き、プロセスの変動性を解消 酸素を透過し、経時で交換が必要なエラストマシールを使用しない MultiFlo™ は、MFC の取り外しやキャリブレーションが必要なく、プロセスガスの切り替えを簡素化し、合理化 ...

体積流量: 40 l/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar

... コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間（セトリングタイム） ...

体積流量: 0 l/min - 30,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

... 清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応 オプションの強化されたプロセス内部仕上げ ...

動作温度: 0 °C - 150 °C
耐圧力: 0 psi - 90 psi
精度: 1, 0.35 %

... にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正（再調整）や再キャリブレーションの必要性を低下させています。 特長 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み) 極めて正常性の高い流路 アナログコネクタが2本付属。リモートエレクトロニクスを標準装備 デジタル測定と制御アーキテクチャ メリット ...