Busch Vacuumのコンパクト真空発生器

到達真空度 : 2 mbar
流量: 4.8, 4 m³/h
出力: 0.1 kW

家庭用のコンパクトなソリューション コンパクト モジュール構造、高さを抑え軽量化、限られたスペースでの設置に最適 信頼性 堅牢な構造、耐久性に優れたベーン、定評のあるロータリーベーン技術、長い耐用年数 静音性 低騒音、総菜売り場やレストランでの使用に最適

到達真空度 : 2 mbar
流量: 9.6, 8 m³/h
出力: 0.45, 0.35 kW

家庭用のコンパクトなソリューション コンパクト モジュール構造、高さを抑え軽量化、限られたスペースでの設置に最適 信頼性 堅牢な構造、耐久性に優れたベーン、定評のあるロータリーベーン技術、長い耐用年数 静音性 低騒音、総菜売り場やレストランでの使用に最適

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
出力: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
出力: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
出力: 15, 9 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター

到達真空度 : 0 mbar
流量: 610, 500 m³/h
出力: 3 kW - 4 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置

到達真空度 : 0 mbar
流量: 960, 775 m³/h
出力: 5.5 kW - 6.8 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置

到達真空度 : 0 mbar
流量: 1,640, 1,365 m³/h
出力: 5.5, 6.8 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 105, 85 m³/h
出力: 1.1 kW - 1.8 kW

... スクリューデザイン、ベル型構造、特許取得済みのセルフバランススクリュー、優れた走行性、半導体や分析用途、滅菌、凍結乾燥、炉、薄膜コーティング、ガス回収に最適です。 効率的 低所有コスト、最小限のメンテナンス、長い運転間隔、高い稼働率、効率的な空冷 コンパクト はめ込み式設計、キャンドモータを直接取り付け ...

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 90 m³/h
出力: 1.5, 0.7 kW

... スクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリュー、優れた運転品質、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセスに最適 高効率性 インテリジェントな可変速ドライブ、所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム、直接水冷方式 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、コントロールパネル搭載