Hitachi/日立の電子顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000II ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 * 装置写真はオプション付属の状態です。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

... 高効率信号検出により、低エネルギー/低電流条件でも高いS/Nの画像を提供します。 高コントラストの低加速反射電子像 ExB光学系と検出信号制御機能により、目的に応じて二次電子/反射電子信号を分離しての画像取得が可能です。 右の画像では3D NANDキャパシタ部の酸化膜と窒化膜の層構造を反射電子の組成コントラストで観察しています。 高速応答性反射電子検出 新規開発されたシンチレータ型反射電子検出器（OCD）は応答速度の向上により、観察部位を特定しやすくなりました。 右の画像は1秒未満の取得時間 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

... 、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 ...

分解能: 1.2 nm

... 大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます 強力な光学系・検出系 • 低エネルギー観察時の分解能は1.6 nm@1 kV*1 • 真空/低真空ともに照射電流は最大200 nA以上*2 • 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載*3

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ • リスクを低減する試料交換シーケンス • スループットを向上する試料交換室 • ...

倍率 : 6 unit - 800,000 unit
分解能: 4, 5, 15 nm

... nmの像分解能を実現。 新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 日立ハイテク FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.2, 0.14, 0.19 nm

... 次世代TEM「RuliTEM」誕生。 「RuliTEM」は、高コントラストを極めたレンズを搭載し広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830をラインナップする120 kV透過電子顕微鏡です。 新設計オペレーションで、ルーティンワークの対応も可能にする革新的な操作性を実現しました。 極上のTEM解析ソリューションを皆さまへご提供します。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

重量: 990 kg
幅: 1,190 mm
高さ: 1,800 mm

... プロービングシステムを実現することでした。 - このSEMベースのプロービングシステムは、あらゆるナノスケール半導体デバイスの製造プロセス中に発生する可能性のある欠陥や不具合を分析するために使用されます。 - NP6800ナノプローバーは、最適化された冷電界放出電子源、8プローバーシステム、-40 F～302 F（-40 deg. ～ 150 deg.）の温度制御ステージ、ゲート抵抗検出用AC測定システム（オプション）、ショートおよびオープン故障の特定用EBACシステム、最高のスループットを実現するプローブおよび ...

... 材料、コンポーネントの電気特性評価、EBAC解析、イメージングを行う電子ビームベースのプロービングシステムです。 電子ビーム吸収電流（EBAC）技術は、低レベルの層を直接プロービングすることなく、インターコネクトに沿ってオープン回路、高抵抗、ショートを特定するための迅速で効果的な方法を提供します。 EBAC技術は、電子ビーム電流を吸収するために、誘電体層を通過して下層のメタライゼーション層まで電子ビームを流します。FESEMの電子ビーム加速電圧は、誘電体層を通過するプロービング深さまたは浸透レベル ...