Hitachi/日立の実験用顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000II ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ • リスクを低減する試料交換シーケンス • スループットを向上する試料交換室 • 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* • ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.2, 0.14, 0.19 nm

... 次世代TEM「RuliTEM」誕生。 「RuliTEM」は、高コントラストを極めたレンズを搭載し広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830をラインナップする120 kV透過電子顕微鏡です。 新設計オペレーションで、ルーティンワークの対応も可能にする革新的な操作性を実現しました。 極上のTEM解析ソリューションを皆さまへご提供します。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 * 装置写真はオプション付属の状態です。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU8600 SU8600 は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 高輝度コールドFE電子銃と検出信号制御機能により、高コントラスト像を高い分解能で提供します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 低エネルギー観察条件での超高分解能像 高輝度のコールドFE電子銃により低エネルギー ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

低加速電圧での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 SU7000では最多6チャンネルでの信号同時表示/保存が可能です。 取得情報の最大化を強力にアシストします。 3.多様な試料形状・観察手法に対応 • ...

分解能: 1.2 nm

SU5000 & EM Wizardが創造するFE-SEMの新たな世界。 SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。 EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。 あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM ...

倍率 : 6 unit - 800,000 unit
分解能: 4, 5, 15 nm

... FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM MAP」を搭載し直観的な視野移動を実現しています。 • 卓上設置可能なコンパクトサイズ*1でありながら、分解能4.0 ...

倍率 : 10 unit - 25,000,054 unit
重量: 54 kg
長さ: 614, 617 mm

卓上SEMは、次のステージへ。 もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 画像観察まで3分。目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 観察・分析のフレキシビリティ 多彩なデータをオートで取得。切替も迅速！ 迅速な元素マップ*2の取得が可能 Camera ...

重量: 990 kg
幅: 1,190 mm
高さ: 1,800 mm

... 日立NP6800は、設計ノード10nm以降の半導体デバイスの分析ニーズに対応するために設計されたSEMベースの専用プロービングシステムです。 精密ピエゾ駆動アクチュエータを搭載し、X軸、Y軸、Z軸のプローブ移動が可能なため、プローブを高精度に制御し、1個のMOSトランジスタの電気特性を測定することができます。 設計コンセプトは、直感的なプローブ操作設計により、真空環境下でも同じ操作性を維持しながら、（光学式プロービングシステムのような）使いやすいプロービングシステムを実現することでした。 - ...