Hitachi/日立のナノテクノロジー用顕微鏡

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000II ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.8 nm

... での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系 ...

分解能: 1.2 nm

SU5000 & EM Wizardが創造するFE-SEMの新たな世界。 SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。 EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。 あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ • リスクを低減する試料交換シーケンス • ...

倍率 : 6 unit - 800,000 unit
分解能: 4, 5, 15 nm

... 、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 日立ハイテク FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM ...

倍率 : 10 unit - 25,000,054 unit
重量: 54 kg
長さ: 614, 617 mm

卓上SEMは、次のステージへ。 もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 画像観察まで3分。目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 観察・分析のフレキシビリティ 多彩なデータをオートで取得。切替も迅速！ 迅速な元素マップ*2の取得が可能 Camera ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

... 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700 ...

重量: 990 kg
幅: 1,190 mm
高さ: 1,800 mm

... プロービングシステムは、あらゆるナノスケール半導体デバイスの製造プロセス中に発生する可能性のある欠陥や不具合を分析するために使用されます。 - NP6800ナノプローバーは、最適化された冷電界放出電子源、8プローバーシステム、-40 F～302 F（-40 deg. ～ 150 deg.）の温度制御ステージ、ゲート抵抗検出用AC測定システム（オプション）、ショートおよびオープン故障の特定用EBACシステム、最高のスループットを実現するプローブおよび試料交換ユニットを採用しています。 - ...

... 日立NE4000 nanoEBACは、マイクロエレクトロニクスデバイスの配線、材料、コンポーネントの電気特性評価、EBAC解析、イメージングを行う電子ビームベースのプロービングシステムです。 電子ビーム吸収電流（EBAC）技術は、低レベルの層を直接プロービングすることなく、インターコネクトに沿ってオープン回路、高抵抗、ショートを特定するための迅速で効果的な方法を提供します。 EBAC技術は、電子ビーム電流を吸収するために、誘電体層を通過して下層のメタライゼーション層まで電子ビームを流します。FESEMの電子ビーム加速電圧は、誘電体層を通過するプロービング深さまたは浸透レベルを制御します。露出した上層のメタライゼーション上にプローブを1本置いて回路を完成させ、電子が配線を流れるようにする。 日立が特許を取得した差動EBACアンプとともにデュアルプローブを使用することで、ゼーベック効果による高抵抗やショートの観察が可能になります。 使いやすいデザイン - ...