Keller ITSの半導体用温度計

温度域: 450 °C - 1,800 °C
スペクトル領域: 0.82 µm - 0.93 µm

... CellaWafer PA 38は450～1,800 °Cのウェーハ温度測定用のデジタルパイロメーターです。測定波長が非常に短波で狭帯域であるため、シリコンウェーハや金属（タングステン、モリブデンなど）の測定に特に適しています。さらに、測定対象物の放射率の変化にも無感覚に反応します。 特徴 測定範囲 450～1800 °C 測定距離を正確に調整できる焦点交換式レンズ 広帯域反射防止精密レンズ 短波長および狭帯域スペクトル範囲 金属やシリコンウェハーの精密測定に最適 LEDディスプレイは遠くからでも ...

温度域: 600 °C - 3,000 °C

... CellaPort PT 135は、600 〜 3000 ℃ の範囲の温度を測定するためのデジタルパイロメータです。短波長の狭帯域センサは、視線経路がほこりや蒸気などの障害物も放射率の変動も測定結果に干渉しないスペクトル領域で動作します。 CellaPort PT 135は、金属（タングステン、モリブデンなど）およびシリコンウエハーの温度検出に特に適しています。 特徴: -範囲: 600 ～ ...

温度域: 600 °C - 3,500 °C

... CellaTemp® PA 35は、600～3500℃の温度を測定するためのデジタルパイロメータです。短波長の狭帯域センサは、視路がほこりや蒸気などの遮蔽物も放射率の変動も測定結果を妨げないスペクトル領域で動作します。CellaTemp® PA 35は、金属（タングステン、モリブデンなど）やシリコンウエハの温度を検出するのに特に適しています。CellaTemp® PA 35は、LEDディスプレイを内蔵しているため、温度測定を遠くから簡単に確認できます。PC ...

温度域: 750 °C - 3,000 °C

... CellaCrystal PX 44は、SiおよびSiC結晶製造における光学温度測定用に開発されました。校正は特に成長プロセスに適合しています。全測定範囲にわたって常に0.1 K未満の高い分解能を持つハイブリッド信号評価と、均一光センサー技術による非常に高い長期安定性により、この装置は要求される測定精度に対する高い要求を満たしています。 特別な特徴 測定範囲 750～3,000 °C PX 44 AF 4: シリコン結晶製造用の特殊校正 PX ...

温度域: 900 °C - 3,200 °C

... CellaCrystal PA 45は、グラファイト、グラフェン、結晶の製造における光学的温度測定のために開発されました。商測定法に基づくこの高温計は、非常に広い測定範囲と、全測定範囲にわたって<0.1 Kという一定の高い分解能を持つことが特徴です。また、長期安定性が非常に高いため、生産工程で必要とされる高い測定精度の要件を満たしています。レンズ越しの照準やビデオカメラを使って、パイロメーターを測定ポイントに正確に位置合わせすることができます。 主な特長 測定範囲 ...

温度域: 900 °C - 3,200 °C

... CellaCrystal PA 45は、グラファイト、グラフェン、結晶の製造における光学的温度測定のために開発されました。商測定法に基づくこの高温計は、非常に広い測定範囲と、全測定範囲にわたって<0.1 Kという一定の高い分解能を持つことが特徴です。また、長期安定性が非常に高いため、生産工程で必要とされる高い測定精度の要件を満たしています。レンズ越しの照準やビデオカメラを使って、パイロメーターを測定ポイントに正確に位置合わせすることができます。 主な特長 測定範囲 ...