Magnescaleの高速リニアエンコ—ダ

長さ: 40 mm - 420 mm
分解能: 0.01 µm - 0.1 µm
リニアエンコーダの速度: 0 mm/s - 400 mm/s

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。 光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性 原点精度:±0.1µm 精度:±0.04µm以下(有効長40mm) 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません 有効長:40～420mm、9種類(-R/-RS) 有効長:10～420mm、10種類(-N/-NS) 真空、非磁性対応(特殊仕様) 低膨長ガラス使用:－ ...

長さ: 70 mm - 3,770 mm
分解能: 0.01 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 mm/min

エアパージ不要 クーラントや水の飛散、スラッジや切粉に対してより強靭になったことで、厳しい環境下でのエアパージ不要の安定した動作を実現。 ベアリングレス 機構部品をなくすことで壊れにくく、小型な構造を実現しました。 加工物の近くへの取り付けが可能になり、1軸に複数の設置も容易に。 完全非接触 スケール・ヘッド間距離は従来スケールの約2倍。変動許容範囲は従来スケールの約5倍。 IP67の密閉構造 磁気式スケールと検出デバイスの表面を50 µmの厚さの金属カバーで完全防護。 5nmの高分解能 新開発のアルゴリズムを採用し、高機能演算処理回路を見直すことで、このクラス最高の5nmの高分解能を実現。 様々なコントローラに対応 対応コントローラ：ファナック(株)、三菱電機(株)、(株)安川電機、SIEMENS ...

長さ: 200 mm - 8,000,000 mm
分解能: 5, 10 µm
動作温度: -5 °C - 45 °C

非接触・30m/sの高速応答性、リアルタイム制御に適した産業機械用デジタルスケール 磁気検出方式 分解能：5 µm、10 µm(インターポレータ側のスイッチ切替による) 耐環境性が良好 小型(リボン形状)・取付け容易なスケールユニット 長尺スケール：最長8 m 高感度・高安定 スケール精度: 30+10L/1000µmp-p(有効長8mまで)(L:有効長) 主な用途 : レイアウトマシン、チップマウンタ、X-Yテーブルなどの産業機械の自動制御

分解能: 0.01 nm - 62 nm
リニアエンコーダの速度: 0 mm/s - 1,800 mm/s
動作温度: 10 °C - 30 °C

信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。 信号波長:250nm 高精度:±1μｍ/420mm 高速応答:1,800mm/s 最高分解能:3.8 pm ラインナップ:原点付、原点無し 完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。 スケール部:ZEROガラス、無アルカリガラス 厚み:12mmの薄型ヘッド 各種分解能、出力形式に対応(BD96、BD700等、インターポレータによる) 真空（特殊仕様品）

長さ: 30 mm - 1,070 mm
分解能: 0.01 nm - 400 nm
リニアエンコーダの速度: 5 m/s

... 高分解能・高速化を実現するモーションコントロール用レーザスケール。 ステージの高速制御やピコメータレベルの微細制御用のスケールとしてだけでなく、チルトテーブルの高分解能チルト制御用のセンサーとしても使用できます。 最大分解能：6.1 pm 最大応答速度：5 m/s 広角度公差±30分 長寿命レーザーダイオードを搭載 低ノイズ BD700との組み合わせで優れた補間精度 1.5D、2Dスケールも使用可能 ...

長さ: 30 mm - 1,060 mm
分解能: 0.05, 0.02, 0.4, 0.1 µm
リニアエンコーダの速度: 3, 2.33, 1.66 mm/s

信号波長400nmの高精度、高速応答直線スケール。クラス最高性能で幅広いアプリケーションに対応。 BL57-RE クラス最高の高速応答と高精度で1,060mmまでの有効長を実現 信号波長:400nm 原点内蔵 ＜アプリケーション＞　精密測定器・精密ステージなど BL57-NE 小型形状で精密機器への組み込みに有利 原理的に温度、湿度、気圧の変化や空気の揺らぎに影響が少なく、低膨張ガラスの採用で更に安定な計測が可能 信号波長:400nm ＜アプリケーション＞ ...