Magnescaleの工業用リニアエンコ—ダ

長さ: 40 mm - 420 mm
分解能: 0.01 µm - 0.1 µm
リニアエンコーダの速度: 0 mm/s - 400 mm/s

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。 光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性 原点精度:±0.1µm 精度:±0.04µm以下(有効長40mm) 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません 有効長:40～420mm、9種類(-R/-RS) 有効長:10～420mm、10種類(-N/-NS) 真空、非磁性対応(特殊仕様) 低膨長ガラス使用:－0.7×10-6/℃(有効長:10～420mm) 分解能:2.1pm

長さ: 70 mm - 3,770 mm
分解能: 0.01 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 mm/min

エアパージ不要 クーラントや水の飛散、スラッジや切粉に対してより強靭になったことで、厳しい環境下でのエアパージ不要の安定した動作を実現。 ベアリングレス 機構部品をなくすことで壊れにくく、小型な構造を実現しました。 加工物の近くへの取り付けが可能になり、1軸に複数の設置も容易に。 完全非接触 スケール・ヘッド間距離は従来スケールの約2倍。変動許容範囲は従来スケールの約5倍。 IP67の密閉構造 磁気式スケールと検出デバイスの表面を50 µmの厚さの金属カバーで完全防護。 5nmの高分解能 新開発のアルゴリズムを採用し、高機能演算処理回路を見直すことで、このクラス最高の5nmの高分解能を実現。 様々なコントローラに対応 対応コントローラ：ファナック(株)、三菱電機(株)、(株)安川電機、SIEMENS ...

長さ: 50 mm - 2,200 mm
分解能: 50 µm

磁気検出方式を用いた耐環境性モデル。フライス盤、研削盤など汎用工作機械に最適。 原点内蔵 磁気検出方式のため、油・汚れ・振動に強く、耐環境性良好 小型・コンパクトなので取付が省スペース

分解能: 5 µm

... デジタル表示のコストパフォーマンスの高いスケールです。 磁気式エンコーダ 作業環境に対する優れた耐性 工作機械と同じ膨張係数 測定長: 150 mm ～ 1600 mm / 5.9″ ～ 62.9″（5.9″ ～ 62.9″) 精度：±10μm、±15μm 最大分解能5 μm ...

長さ: 200 mm - 8,000,000 mm
分解能: 5, 10 µm
動作温度: -5 °C - 45 °C

非接触・30m/sの高速応答性、リアルタイム制御に適した産業機械用デジタルスケール 磁気検出方式 分解能：5 µm、10 µm(インターポレータ側のスイッチ切替による) 耐環境性が良好 小型(リボン形状)・取付け容易なスケールユニット 長尺スケール：最長8 m 高感度・高安定 スケール精度: 30+10L/1000µmp-p(有効長8mまで)(L:有効長) 主な用途 : レイアウトマシン、チップマウンタ、X-Yテーブルなどの産業機械の自動制御

長さ: 50 mm - 100,000 mm
動作温度: 0 °C - 45 °C

高分解能、アナログ出力、原点検出が可能な非接触型デジタルスケール 磁気検出方式 小型・リボン形状で、狭いスペースにも取付け可能 ヘッドとスケールユニットは非接触型 耐環境性良好 ： 汚れ・油などに強く、また振動・衝撃に対しても強靱です 有効長50mm～100,000mmのラインアップ 別売りヘッドPL101との組み合わせにより、直線上の位置、変位量を検出。アナログ信号出力またはA/B相出力、各社シリアル出力に対応。 原点仕様により3つのタイプがあり、用途に合わせて選べます