Magnescaleのエンコーダ

長さ: 40 mm - 420 mm
分解能: 0.01 µm - 0.1 µm
リニアエンコーダの速度: 0 mm/s - 400 mm/s

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。 光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性 原点精度:±0.1µm 精度:±0.04µm以下(有効長40mm) 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません 有効長:40～420mm、9種類(-R/-RS) 有効長:10～420mm、10種類(-N/-NS) 真空、非磁性対応(特殊仕様) 低膨長ガラス使用:－0.7×10-6/℃(有効長:10～420mm) 分解能:2.1pm

回転速度: 10 rpm
動作温度: 10 °C - 30 °C

エンコーダ自身の取付誤差を自ら校正する「自己校正型ロータリエンコーダ」 装置回転軸のリファレンスとしても活用可能。 高い角度精度：自社開発のアルゴリズムにより±0.1”(角度秒)を達成 (分解能：0.0012” (角度秒)) 精度のトレーサビリティ：国立研究開発法人産業技術総合研究所の国家標準器による測定 高い再現性：取付け姿勢が精度に影響しない非接触構成 簡単な取付：取付けから測定までわずか15分 便利な計測パッケージ：コンパクトで持ち運びも容易

長さ: 90 mm - 3,740 mm
分解能: 0.01 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 m/min

エアパージ不要 クーラントや水の飛散、スラッジや切粉に対してより強靭になったことで、厳しい環境下でのエアパージ不要の安定した動作を実現。 ベアリングレス 機構部品をなくすことで壊れにくく、小型な構造を実現しました。 加工物の近くへの取り付けが可能になり、1軸に複数の設置も容易に。 完全非接触 スケール・ヘッド間距離は従来スケールの約2倍。変動許容範囲は従来スケールの約5倍。 磁気式スケールと検出デバイスの表面を50 µmの厚さの金属カバーで完全防護。 5nmの高分解能 新開発のアルゴリズムを採用し、高機能演算処理回路を見直すことで、このクラス最高の5nmの高分解能を実現。 様々なコントローラに対応 対応コントローラ：ファナック(株)、三菱電機(株)、(株)安川電機、SIEMENS ...

長さ: 70 mm - 3,770 mm
分解能: 0.01 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 mm/min

エアパージ不要 クーラントや水の飛散、スラッジや切粉に対してより強靭になったことで、厳しい環境下でのエアパージ不要の安定した動作を実現。 ベアリングレス 機構部品をなくすことで壊れにくく、小型な構造を実現しました。 加工物の近くへの取り付けが可能になり、1軸に複数の設置も容易に。 完全非接触 スケール・ヘッド間距離は従来スケールの約2倍。変動許容範囲は従来スケールの約5倍。 IP67の密閉構造 磁気式スケールと検出デバイスの表面を50 µmの厚さの金属カバーで完全防護。 5nmの高分解能 新開発のアルゴリズムを採用し、高機能演算処理回路を見直すことで、このクラス最高の5nmの高分解能を実現。 様々なコントローラに対応 対応コントローラ：ファナック(株)、三菱電機(株)、(株)安川電機、SIEMENS ...

長さ: 70 mm - 2,040 mm
分解能: 0.01 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 m/min

スリムタイプのため、狭いスペースに取り付け可能 磁気方式のため、結露・油などの悪環境でも使用可能 中継アンプを介さず、各社コントローラにダイレクトで接続可能 鉄と同じ線膨張係数 対応プロトコル：ファナック(株)、三菱電機(株)、(株)安川電機、SIEMENS AG

長さ: 140 mm - 3,640 mm
分解能: 0.05 µm - 1 µm
リニアエンコーダの速度: 200 m/min

高剛性のため、衝撃、振動に強い 磁気方式のため、結露・油などの悪環境でも使用可能 中継アンプを介さず、各社コントローラにダイレクトで接続可能 鉄と同じ線膨張係数 対応プロトコル：ファナック(株)、三菱電機(株)、SIEMENS AG

長さ: 50 mm - 2,200 mm
分解能: 50 µm

磁気検出方式を用いた耐環境性モデル。フライス盤、研削盤など汎用工作機械に最適。 原点内蔵 磁気検出方式のため、油・汚れ・振動に強く、耐環境性良好 小型・コンパクトなので取付が省スペース

分解能: 5 µm

... デジタル表示のコストパフォーマンスの高いスケールです。 磁気式エンコーダ 作業環境に対する優れた耐性 工作機械と同じ膨張係数 測定長: 150 mm ～ 1600 mm / 5.9″ ～ 62.9″（5.9″ ～ 62.9″) 精度：±10μm、±15μm 最大分解能5 μm ...

長さ: 140 mm - 3,040 mm
分解能: 0.05 µm
リニアエンコーダの速度: 50 m/min

工作機械等の高精度な位置決めを必要とする装置の位置信号を出力する高剛性中型磁気式スケールです。 最高分解能: 0.05 µm 精度 (20℃): (3+3L/1,000) µm p-p、(5+5L/1,000) µm p-p［L:有効長］ 有効長 (L): 140 mm～3,040 mm 応答速度: 50 m/min (分解能0.1 µm、 最小位相差：50 ns時) 出力信号: A/B相・原点 ラインドライバ信号 EIA-422準拠

長さ: 200 mm - 30,000 mm
分解能: 10 µm
リニアエンコーダの速度: 300 m/min

取付け容易で30mまでの長尺が可能な非接触デジタルスケール 磁気検出方式 耐環境性良好:油・塵・衝撃や振動に強靱 分解能:10µm　 30mまでの長尺が可能 スケールは小型・シンプル構造のため取付けが容易 木材、石材加工機から金属加工機械までの大型機械 主な用途:木材、石材加工機 高速応答:300m/min(PL20C組合せ時)