Nikon Metrologyの高精度測定システム

... 備えた、柔軟で完全に自動化された CMM 検査システムを提供します。 APDIS IQ ステーションは、従来の 接触式3次元測定機 よりも 6 倍以上高速に測定が可能なうえ、作業現場に設置でき、プログラミングが簡単で、高い生産性、柔軟性、シンプルさを 備えています。アダプター、プローブ、またはコーティングを使用せずに、フィーチャーの精密測定を行うことができるため、必要な場所で品質管理のフィードバックを迅速かつ簡単に行うことができます。 各測定位置で治具の位置合わせが行われ、ロボットのばらつきが ...

... 公差管理を高速/高精度/使いやすく行えます。 さまざまなサンプルをカバーする汎用モデル 専用光学系とTTLレーザーAFを標準搭載。サンプルサイズに応じてストロークの異なる3モデルをラインアップしています。多様な測定ニーズに対して高速·高精度な測定を実現します。 6種類の高NA光学ズームヘッド 専用設計された6種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。 TTL ...

... 長作動距離で、高さや段差のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。 広視野による多彩な測定用途 広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。 長作動距離と長Z軸ストローク 全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。 測定用途に応じたオプション レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお ...

... 2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト ...

... 2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト ...

精密なステージ動作と高性能光学系によりNEXIVシリーズ最高精度での測定を実現します。 厳密な品質が要求される測定用途に対応 NEXIVシリーズ最高の測定精度を実現。半導体部品や精密金型など、より厳しい品質管理を要求される場面で威力を発揮します。 5種類の高NA光学ズームヘッド 専用設計された5種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。 TTL ...