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... レーザーAFを標準搭載。サンプルサイズに応じてストロークの異なる3モデルをラインアップしています。多様な測定ニーズに対して高速·高精度な測定を実現します。 6種類の高NA光学ズームヘッド 専用設計された6種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。 TTL (Through The Lens) レーザーAF 多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL ...
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... のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。 広視野による多彩な測定用途 広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。 長作動距離と長Z軸ストローク 全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。 測定用途に応じたオプション レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます ...
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... のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。 広視野による多彩な測定用途 広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。 長作動距離と長Z軸ストローク 全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。 測定用途に応じたオプション レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます ...
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... のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。 広視野による多彩な測定用途 広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。 長作動距離と長Z軸ストローク 全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。 測定用途に応じたオプション レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます ...
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... 2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト ...
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... 2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト ...
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