Precision STAGEの測定用ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 50 kg

... 回避され、どのような位置でも簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じて、さらに広い移動範囲にも対応可能です。 医療産業レーザー切断スキャニングバイオテクノロジー計測AOI（自動光学検査）レーザーマーキング 移動範囲 ...

繰返し精度: 2 µm
積載量: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工業用測定顕微鏡走査ステージ 簡単な説明 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの特長があります。また、リニアモーターは非接触ダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、従来の表示モーターである。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

... 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

... 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

... 半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの後処理を削減 部品と測定データの大規模な後処理を削減 -モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある耐荷重性を実現 -コンパクトで軽量なフォームファクターにより、精密システムや機械に容易に統合可能。 小型・軽量のため、精密システムや機械に容易に統合できます。 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援します。 アキシャル、ラジアル、チルトの各エラーモーションを最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します ...

... 傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 モーションクオリティを犠牲にすることなく、余裕のある耐荷重性を実現 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付け、および耐荷重性能により、精密システムや機械に容易に統合可能 主な用途 E-3R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定。 マイクロおよびナノトモグラフィー ビームラインおよびシンクロトロン研究 ダイヤモンド切削 ...

... または水平に取り付け可能 -ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ -アナログおよびデジタル位置フィードバック 製品概要 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減 測定データ 高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性 超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用 モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 コンパクトで軽量 ...

... 業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 -シンプルでわかりやすい統合 -E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を提供する先進的なベアリング設計を採用しています。 E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を実現する先進の軸受設計を採用。そのため、E-3R-NGは多軸のコンポーネントステージとして最適です。 多軸モーションシステムや精密ターンキーマシンのコンポーネントステージとして最適です。E-3R-NGステージは 回転軸を垂直または水平 ...