Precision STAGEの電動式ポジショニングステージ

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... .100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

ストローク: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Z ...

ストローク: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージと比較して、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT- ...

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 ...

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... 軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 50 kg

... E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ）XYリニアモータステージ 簡単な説明 リニアモーター リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性 ...

積載量: 20 kg

... パラレル・キネマティック・デザインにより、シリ アル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、高いダイナミクスを実現：高い信頼性、摩擦の低減 TRI軸パラレルモーションステージ 弊社が得意とする製品です。他のハイエンド多自由度プラットフォームと比較して、高いコストパフォーマンスを持っています。 3軸パラレル構造を採用し、各軸にステッピングモータまたはサーボモータを搭載可能。コントローラ内部の独自の制御アルゴリズムにより、高精度な制御を実現； システム全体の剛性を最適化； プラットフォーム中央部に ...

繰返し精度: 1.5 µm
積載量: 10 kg

... 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの長所があります。また、リニアモーターは非接触のダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、伝統的なディスプレイモーターです。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...