Precision STAGEの多軸ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 静かで滑らかな使用音、非常に低いノイズ ● 非常に高いレベルの精密性能 前へ: E-LMT-XYZ（高精度一体型XYZ軸ステージ） 次へHEX-S6.50.200 6軸トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 高精度リニアモータステージ 高精度Xyリニアステージ Xyステージマイクロメーター ...

速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm
積載量: 5 kg

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Z ...

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... 軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

積載量: 20 kg

... パラレル・キネマティック・デザインにより、シリ アル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、高いダイナミクスを実現：高い信頼性、摩擦の低減 TRI軸パラレルモーションステージ 弊社が得意とする製品です。他のハイエンド多自由度プラットフォームと比較して、高いコストパフォーマンスを持っています。 3軸パラレル構造を採用し、各軸にステッピングモータまたはサーボモータを搭載可能。コントローラ内部の独自の制御アルゴリズムにより、高精度な制御を実現； システム全体の剛性を最適化； プラットフォーム中央部に ...

速度: 25 mm/s
繰返し精度: 1 µm
積載量: 6 kg

... グレーチングを使用し、位置決めステージの最小変位と再現性を確保するために高性能ドライバを装備しています。 大きなパフォーマンスを達成します。 E-SST160-Z50 Z軸ステッピングモーター昇降テーブル2 (2) コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング E-ABVT-ZシリーズのZステージを操作するために、単軸および多軸の高性能モーションコントローラを選択できます。Precision-stageは、試運転と簡単な操作のためのドライバとソフトウェア、および一般的なプログラミング言語による ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 100 nm - 350 nm
積載量: 20 kg

... 、大容量ベアリングは最大 20kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 エンコーダー フィルターおよびエア供給キット 単軸および多軸モーションコントローラ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション カスタマイズ可能 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...

速度: 1,000 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm
積載量: 10 kg

... 100nm または 1nm ステージは、プリロード・エアベアリングと内蔵リニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターを装備しています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力のリニアモータは、ステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 ...

... リードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 -シンプルでわかりやすい統合 -E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を提供する先進的なベアリング設計を採用しています。 E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を実現する先進の軸受設計を採用。そのため、E-3R-NGは多軸のコンポーネントステージとして最適です。 多軸モーションシステムや精密ターンキーマシンのコンポーネントステージとして最適です。E-3R-NGステージは 回転軸を垂直または水平にして ...