Precision STAGEの高精度ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... -XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 ...

ストローク: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Z ...

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... は弊社が最近発売した高精度デスクトップ型スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 1 g

... 寸法と優れた動的性能を持っており、特にスペースサイズに敏感な人に適しています。 一体構造加工で剛性・安定性が高く、平坦度が高い。 非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能 アイアンレスモーター、速度変動は1000分の1以下（指定されたタイプのドライブと組み合わせ、実験室環境でのテストデータ）。 マイクロステップ制御を保証する静かでクリープ防止ガイドレール ...

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
繰返し精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY（コプレーナエアベアリングXYステージ） 簡単な説明 X軸ビームはアルミナセラミックス製です。大理石ビームに比べ、セラミックビームは精度、安定性、耐摩耗性に優れています。 ...

速度: 0 mm/s - 5 mm/s
繰返し精度: 0.1 µm
積載量: 0 kg - 25 kg

... E-TRIシリーズ E-TRI-VM-R1 平行移動ステージ 簡単な説明 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 ...

速度: 3,000 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 200 kg

... 一次元エアフローティングモーションステージ 簡単な説明 完全予圧式エアベアリング 最大 1000 mm のトラベルが可能 高精度リニアエンコーダフィードバック 完全非接触設計 優れた速度安定性を実現する超滑らか設計 は、負荷能力を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリングステージよりも小さな断面を特徴としています。大きなエアベアリング面は優れた剛性を提供し、高負荷を可能にします。独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現。リニアモータードライブ このステージの原動力はPrecision-stage ...

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... .100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...