Precision STAGEの回転ポジショニングステージ

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... 軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

速度: 0 mm/s - 5 mm/s
繰返し精度: 0.1 µm
積載量: 0 kg - 25 kg

... E-TRIシリーズ E-TRI-VM-R1 平行移動ステージ 簡単な説明 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 ...

速度: 0 mm/s - 100 mm/s
積載量: 0 kg - 60 kg

... 、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

... 、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 ...

... します。 アキシャル、ラジアル、チルトの各エラーモーションを最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 4R-NG 無給電エアベアリングロータリーステージ1 (1) 動きの質を犠牲にすることなく、広い負荷容量を提供 小型・軽量で、水平・垂直の取り付けが可能なため、精密システムや機械に簡単に組み込むことができます。 主な用途 E-4R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定 マイクロおよびナノトモグラフィー ...

... 付け可能 デザインの特徴 クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化に貢献します。 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 モーションクオリティを犠牲にすることなく、余裕のある耐荷重性を実現 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付け、および耐荷重性能により、精密システムや機械に容易に統合可能 主な用途 E-3R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差 ...

... -垂直または水平に取り付け可能 -ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ -アナログおよびデジタル位置フィードバック 製品概要 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減 測定データ 高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性 超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用 モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 コンパクト ...