Precision STAGEの精密ポジショニングステージ

... 精密回転ステージは、回転ステージとも呼ばれ、運動を単一の回転軸に制限し、その回転軸の円形位置を正確に制御するために使用されます。ドーバーモーションは、標準的な高精度回転ステージと回転テーブルを提供していますが、当社の強みは、お客様との共同作業により、お客様独自のアプリケーションに適した高精度モーションソリューションを構成することです。 当社のロータリーステージは、剛性の高いクロスローラベアリングと精密ウォームギアドライブを装備しており、卓越した角度精度と再現性を保証します。 ...

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 ...

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... 軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 50 kg

... E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ）XYリニアモータステージ 簡単な説明 リニアモーター リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性 ...

積載量: 20 kg

... パラレル・キネマティック・デザインにより、シリ アル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、高いダイナミクスを実現：高い信頼性、摩擦の低減 TRI軸パラレルモーションステージ 弊社が得意とする製品です。他のハイエンド多自由度プラットフォームと比較して、高いコストパフォーマンスを持っています。 3軸パラレル構造を採用し、各軸にステッピングモータまたはサーボモータを搭載可能。コントローラ内部の独自の制御アルゴリズムにより、高精度な制御を実現； システム全体の剛性を最適化； プラットフォーム中央部に ...

繰返し精度: 2 µm
積載量: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工業用測定顕微鏡走査ステージ 簡単な説明 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの特長があります。また、リニアモーターは非接触ダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、従来の表示モーターである。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

繰返し精度: 1.5 µm
積載量: 10 kg

... 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの長所があります。また、リニアモーターは非接触のダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、伝統的なディスプレイモーターです。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 1 g

... しています。 一体構造加工で剛性・安定性が高く、平坦度が高い。 非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能 アイアンレスモーター、速度変動は1000分の1以下（指定されたタイプのドライブと組み合わせ、実験室環境でのテストデータ）。 マイクロステップ制御を保証する静かでクリープ防止ガイドレール 長寿命、メンテナンスフリーで長期間使用可能 ...