Precision STAGEの空気軸受ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 ...

速度: 200 mm/s
繰返し精度: 10 nm
積載量: 6 kg

... 設計 すべてのエアベアリング表面でアクティブなエアプリロードを実現 リニアエンコーダフィードバックによるサブナノメーターの分解能 高荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能 50mmと100mmの移動量 カウンターバランス内蔵 エアベアリング設計による高い動的性能 E-LMT145-Zは、垂直面と水平面の両方にエアオンエアの予圧を組み込んでいます。対向する薄膜圧力が、ベアリングの公称隙間公差を維持します。この設計に加え、大きな表面積に荷重を分散させる大きなエアベアリング表面により、重荷重 ...

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
繰返し精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY（コプレーナエアベアリングXYステージ） 簡単な説明 X軸ビームはアルミナセラミックス製です。大理石ビームに比べ、セラミックビームは精度、安定性、耐摩耗性に優れています。 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 100 nm - 350 nm
積載量: 20 kg

... 、大容量ベアリングは最大 20kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 エンコーダー フィルターおよびエア供給キット 単軸および多軸モーションコントローラ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション カスタマイズ可能 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...

速度: 1,000 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm
積載量: 10 kg

... 100nm または 1nm ステージは、プリロード・エアベアリングと内蔵リニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターを装備しています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力のリニアモータは、ステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 ...

... 、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

... 、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 ...

速度: 1,000 mm/s
繰返し精度: 0.2 mm
積載量: 10 kg

... 400mm 耐荷重10kg エアベアリングデザイン 一般的なエアベアリングステージより断面が小さく、耐荷重性能を犠牲にしていません。エアベアリング面が大きいため剛性に優れ、高負荷に対応します。独自の製造 独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現しました。 このステージの原動力は、Precision-stageブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレス・フォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がゼロ。ステージは摩擦がなく、モーターはゼロコギングであるため、極めて微細な ...