Precision STAGEの6 軸ポジショニングステージ

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... .50.200 6軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... 振動低減システム チップ/チルトプラットフォームやピエゾドライブ付き6軸ポジショナーなどの追加ポジショナーに適したマウント 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造だけでなく、計測、フォトニクス、精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 長寿命、クリーンルーム対応のドラッグチェーン E-ABT-XY-360X360は、高品質で長寿命のリボンケーブルと空気圧ホースを採用しています。広範な研究開発の結果、最適化されたケーブルマネジメントシステムにより、数百万回 ...

積載量: 10 kg

... 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト開口部460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高い動作精度を実現 超微細な位置決め分解能と十分なペイロード能力を備えています。 利用可能なスペースが限られている場合、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... 6軸六脚トライポッド構造体 E-HEX-10.6.100.100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 ...

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 静かで滑らかな使用音、非常に低いノイズ ● 非常に高いレベルの精密性能 前へ: E-LMT-XYZ（高精度一体型XYZ軸ステージ） 次へHEX-S6.50.200 6軸トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 高精度リニアモータステージ 高精度Xyリニアステージ Xyステージマイクロメーター ...