Precision STAGEのコンパクトポジショニングステージ

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... 軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

積載量: 20 kg

... パラレル・キネマティック・デザインにより、シリ アル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、高いダイナミクスを実現：高い信頼性、摩擦の低減 TRI軸パラレルモーションステージ 弊社が得意とする製品です。他のハイエンド多自由度プラットフォームと比較して、高いコストパフォーマンスを持っています。 3軸パラレル構造を採用し、各軸にステッピングモータまたはサーボモータを搭載可能。コントローラ内部の独自の制御アルゴリズムにより、高精度な制御を実現； システム全体の剛性を最適化； プラットフォーム中央部に ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 1 g

... ELMT-MINIXYシリーズは、非常にコンパクトな寸法と優れた動的性能を持っており、特にスペースサイズに敏感な人に適しています。 一体構造加工で剛性・安定性が高く、平坦度が高い。 非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能 アイアンレスモーター、速度変動は1000分の1以下（指定されたタイプのドライブと組み合わせ、実験室環境でのテストデータ）。 マイクロステップ制御を保証する静かでクリープ防止ガイドレール ...

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

... 半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの後処理を削減 部品と測定データの大規模な後処理を削減 -モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある耐荷重性を実現 -コンパクトで軽量なフォームファクターにより、精密システムや機械に容易に統合可能。 小型・軽量のため、精密システムや機械に容易に統合できます。 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援します。 アキシャル、ラジアル、チルトの各エラーモーションを最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 ...

... 傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 モーションクオリティを犠牲にすることなく、余裕のある耐荷重性を実現 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付け、および耐荷重性能により、精密システムや機械に容易に統合可能 主な用途 E-3R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定。 マイクロおよびナノトモグラフィー ビームラインおよびシンクロトロン研究 ダイヤモンド切削 ...

... 付け可能 -ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ -アナログおよびデジタル位置フィードバック 製品概要 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減 測定データ 高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性 超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用 モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 コンパクトで軽量なフォーム・ファクター ...

... 業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。 -シンプルでわかりやすい統合 -E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を提供する先進的なベアリング設計を採用しています。 E-3R-NGは、優れた剛性と高負荷容量を実現する先進の軸受設計を採用。そのため、E-3R-NGは多軸のコンポーネントステージとして最適です。 多軸モーションシステムや精密ターンキーマシンのコンポーネントステージとして最適です。E-3R-NGステージは 回転軸を垂直または水平 ...

... 付け可能 -ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ -アナログおよびデジタル位置フィードバック 製品概要 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減 測定データ 高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性 超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用 モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 コンパクトで軽量なフォーム・ファクター ...