Precision STAGEのリニア サーボ モーターポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × ...

ストローク: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Z ...

ストローク: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージと比較して、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT- ...

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... .100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... ELMT-XYシリーズリニアモータステージはクロスローラーガイドとリニアモータを組み合わせ、大きな中空構造を持っており、従来のメカニカルガイドでは、特に小さなステップや超精密位置決めアプリケーションのシナリオのために、真直性と平坦性を一致させることはできません。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。顕微鏡下でも優れた運動性能リニアガイドレールの平坦度、真直度が非常に優れている ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 mm

... 高負荷容量 ●リニアモーター ●大理石ベース ●高剛性 ●高真直度 ●高精度 狭いプロファイル（幅165 mm）で長い移動範囲（500～2000 mm）； 3000Nまでの常用負荷容量； 最大速度2 m/sの高い動的性、メンテナンスフリーのリニアモータ； 長寿命を実現する堅牢な工業デザイン 高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ； 大理石ベース、高剛性、高真直度、高精度； リニアモータステージ ...