Precision STAGEのリニアモータ駆動ポジショニングステージ

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 50 kg

... E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ）XYリニアモータステージ 簡単な説明 リニアモーター リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性 ...

繰返し精度: 1.5 µm
積載量: 10 kg

... 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの長所があります。また、リニアモーターは非接触のダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、伝統的なディスプレイモーターです。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

速度: 1,000 mm/s
積載量: 30 kg

... E-LMTE390-XY-330X330 大移動中空リニアモータステージ 短い説明 大型中空顕微鏡に使用され、半導体検査に広く使用されています。 ...

速度: 300 mm/s
繰返し精度: 150 nm
積載量: 25 kg

... オフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック ...

速度: 200 mm/s
繰返し精度: 10 nm
積載量: 6 kg

... オフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 1 g

... コンパクトな寸法と優れた動的性能を持っており、特にスペースサイズに敏感な人に適しています。 一体構造加工で剛性・安定性が高く、平坦度が高い。 非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能 アイアンレスモーター、速度変動は1000分の1以下（指定されたタイプのドライブと組み合わせ、実験室環境でのテストデータ）。 マイクロステップ制御を保証する静かでクリープ防止ガイドレール ...

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
繰返し精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY（コプレーナエアベアリングXYステージ） 簡単な説明 X軸ビームはアルミナセラミックス製です。大理石ビームに比べ、セラミックビームは精度、安定性、耐摩耗性に優れています。 ...

速度: 1,000 mm/s
繰返し精度: 0.2 mm
積載量: 10 kg

... 耐荷重10kg エアベアリングデザイン 一般的なエアベアリングステージより断面が小さく、耐荷重性能を犠牲にしていません。エアベアリング面が大きいため剛性に優れ、高負荷に対応します。独自の製造 独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現しました。 このステージの原動力は、Precision-stageブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレス・フォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がゼロ。ステージは摩擦がなく、モーターはゼロコギングであるため、極めて微細な分解能 ...