Precision STAGEのXY軸ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 50 kg

... E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ）XYリニアモータステージ 簡単な説明 リニアモーター リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性 ...

繰返し精度: 2 µm
積載量: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工業用測定顕微鏡走査ステージ 簡単な説明 工業用顕微鏡リニアモータプラットフォームは、主流の研究レベルの倒立顕微鏡のために特別に設計され、開発された製品です。高精度、高速応答、高速、長寿命などの特長があります。また、リニアモーターは非接触ダイレクトドライブ機構であるため、騒音がほとんどなく、従来の表示モーターである。マイクロミラープラットフォームの最適化、アップグレード製品です。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
繰返し精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY（コプレーナエアベアリングXYステージ） 簡単な説明 X軸ビームはアルミナセラミックス製です。大理石ビームに比べ、セラミックビームは精度、安定性、耐摩耗性に優れています。 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 100 nm - 350 nm
積載量: 20 kg

... 、大容量ベアリングは最大 20kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 エンコーダー フィルターおよびエア供給キット 単軸および多軸モーションコントローラ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション カスタマイズ可能 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 ...

速度: 3,000 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 200 kg

... 一次元エアフローティングモーションステージ 簡単な説明 完全予圧式エアベアリング 最大 1000 mm のトラベルが可能 高精度リニアエンコーダフィードバック 完全非接触設計 優れた速度安定性を実現する超滑らか設計 は、負荷能力を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリングステージよりも小さな断面を特徴としています。大きなエアベアリング面は優れた剛性を提供し、高負荷を可能にします。独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現。リニアモータードライブ このステージの原動力はPrecision-stage ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 20 kg

... 、高負荷容量と高ダイナミクスを備えた産業用ソリューションのためのリニアステージです。その設計は一貫して厳しい産業条件に対応し、高い剛性と高品質コンポーネントの使用を特徴としています：循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダ。エンコーダの高分解能により、優れたトラッキング性能、小さなトラッキングエラー、短い整定時間を実現します。業界互換性のあるコネクターは、高速で安全な接続性を提供します。オプションのモーションプラットフォームは、特にXYまたはXYZの組み合わせにおいて ...