Precision STAGEのZ軸ポジショニングステージ

速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm
積載量: 5 kg

... れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zは、ボイスコイルモーター ...

ストローク: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージと比較して、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT- ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

速度: 300 mm/s
繰返し精度: 150 nm
積載量: 25 kg

... 重荷重やオフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック ...

速度: 200 mm/s
繰返し精度: 10 nm
積載量: 6 kg

... やオフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック ...

速度: 25 mm/s
繰返し精度: 1 µm
積載量: 6 kg

... グレーチングを使用し、位置決めステージの最小変位と再現性を確保するために高性能ドライバを装備しています。 大きなパフォーマンスを達成します。 E-SST160-Z50 Z軸ステッピングモーター昇降テーブル2 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 100 nm - 350 nm
積載量: 20 kg

... 、大容量ベアリングは最大 20kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 エンコーダー フィルターおよびエア供給キット 単軸および多軸モーションコントローラ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション カスタマイズ可能 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...

... します。 -軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの後処理を削減 部品と測定データの大規模な後処理を削減 -モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある耐荷重性を実現 -コンパクトで軽量なフォームファクターにより、精密システムや機械に容易に統合可能。 小型・軽量のため、精密システムや機械に容易に統合できます。 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援します。 アキシャル、ラジアル、チルトの各エラーモーションを最小化し、部品や測定データの大規模な後処理 ...

... クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化に貢献します。 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 モーションクオリティを犠牲にすることなく、余裕のある耐荷重性を実現 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付け、および耐荷重性能により、精密システムや機械に容易に統合可能 主な用途 E-3R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定。 ...

... または水平に取り付け可能 -ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ -アナログおよびデジタル位置フィードバック 製品概要 クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減 測定データ 高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性 超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用 モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 コンパクトで軽量 ...