Steinmeyerの産業用ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - モーションコントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 40 mm - 繰り返し精度 ± 0.3 µm（一方向） ± 0.4 µm（双方向 - 荷重： → 19 N / ↑ 9 N - 最大速度： 200 mm/s - モーターナノモーション - ...

ストローク: 1 mm - 130 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... ISO 14644-1用バージョン（ご要望によりクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 60 mm - 130 mm - 繰り返し精度 ± 2.8μm、±0.4μm（一方向） ± 4 µm、± 0.5 µm（双方向） - 荷重： → 196 N / ↑ 196 N - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - ...

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 100 mm - 300 mm - 繰り返し精度 ± 0.015 µm (一方向) ± 0.02 µm (双方向) - 荷重： → 98 N / ↑ 58 N - 最大速度: 10 ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - 繰り返し精度 ± 0.3μm、±0.5μm（一方向） ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm

... 精密高荷重垂直リフティングステージ 用途：真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 最大10E-8 / 最大10E-11 mbarのドライ潤滑液 - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm

... HDT255 高荷重開口リフティングテーブル 用途：真空リフティングステージ 利点：-高剛性、高荷重、開口部 特徴：開口部付きウェッジステージ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - ...

ストローク: 10 mm
速度: 5 m/s
繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm

... 返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで装備可能 - 回転アプリケーション用回転テーブルとの組み合わせが可能 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望によりクラス 1 まで対応可能） - オプションでコントローラ ...