Steinmeyerの精密配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 µmまでの卓越した高い繰り返し精度 - ガントリー軸とクロスヘッド間の非カップリングにより、モーターエンコーダによる容易な制御と過決定を回避 このオーバーヘッドアプリケーション ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... 24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... 最大5Gの超高加速度 - エアベアリング技術による摩耗のない24時間365日の工業運転 このエアベアリングXY位置決めシステムは、大型で重いパネルのレーザー加工用に設計されています。Z軸上のカスタマイズされたレーザーは、材料上を非常に高速で移動します。最大600mmまでの大きな移動量と、オプションで2500mmまで拡張できるため、大量の加工が可能です。 仕様 - 標準システムLA340-EDLM ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... カスタマイズ可能 - ウェーハ、プローブカード、プリント基板の自動検査に最適 - 最大720 mmの移動で複数の対象物を同時に検査 - 2つのプロセスを同時に統合するのに最適 - 花崗岩構造による迅速なシステム交換により、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプトを実現 この検査システムはクリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できます。高ダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状を検査し、測定を ...

繰返し精度: 3.9 µm - 4.4 µm
速度: 5 mm/s

... カスタマイズ可能 - 最大650 x 650 mmの大型サンプルの表面検査と膜厚測定に最適 - 繰り返し精度2μmまでの精密測定 - ステッピングモーター駆動による優れたコストパフォーマンス - 20kgまでのセンサーに対応する強力で堅牢なZ軸 - 粉塵、煙などの産業環境に最適 この検査システムは、50 kgまでの大型で平坦な試料の自動品質管理用に特別に設計されています。この位置決めシステムは、非常にコンパクトな設置面積で、センサーのZ軸と被検体のXY軸を同時に位置決めすることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.4 µm
ストローク: 1.5 mm - 100 mm
速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... オフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - ...

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... ： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 ...