Steinmeyerの門型配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... 最大5Gの超高加速度 - エアベアリング技術による摩耗のない24時間365日の工業運転 このエアベアリングXY位置決めシステムは、大型で重いパネルのレーザー加工用に設計されています。Z軸上のカスタマイズされたレーザーは、材料上を非常に高速で移動します。最大600mmまでの大きな移動量と、オプションで2500mmまで拡張できるため、大量の加工が可能です。 仕様 - 標準システムLA340-EDLM ...

繰返し精度: 0.01 µm - 2.5 µm
速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... と高いズームレベル - 最大35mm/sの高速回転による短いサイクルタイム - 最大2.5 µm、最小0.02°までの回転運動による高い再現性 - 長期信頼性の高い標準軸により、非常に長い耐用年数と低メンテナンスを実現 この9軸位置決めシステムは、注射ノズル、ステント、小型切削工具、カニューレ、その他の回転対称部品など、顕微鏡や高解像度カメラであらゆる角度からサンプルを観察することを可能にします。KLT310の堅牢で剛性の高い標準コンポーネントとXYZ用PMT160で構成され、さまざまなタイプの顕微鏡 ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 1,500 mm/s

... 最大速度150 mm/s、加速度2 m/s2でサイクルタイムを短縮 - 1μmまでの繰り返し精度による正確な測定結果と大幅な品質向上 - 花崗岩構造での迅速なシステム交換による、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプト この検査システム（ここではカバーなし）は、自動品質保証用に特別に設計されています。位置決めシステムにより、2つの直線軸に沿って位置決めが可能です。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... カスタマイズ可能 - ウェーハ、プローブカード、プリント基板の自動検査に最適 - 最大720 mmの移動で複数の対象物を同時に検査 - 2つのプロセスを同時に統合するのに最適 - 花崗岩構造による迅速なシステム交換により、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプトを実現 この検査システムはクリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できます。高ダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状を検査し、測定を ...

繰返し精度: 3.9 µm - 4.4 µm
速度: 5 mm/s

... 可能 - 最大650 x 650 mmの大型サンプルの表面検査と膜厚測定に最適 - 繰り返し精度2μmまでの精密測定 - ステッピングモーター駆動による優れたコストパフォーマンス - 20kgまでのセンサーに対応する強力で堅牢なZ軸 - 粉塵、煙などの産業環境に最適 この検査システムは、50 kgまでの大型で平坦な試料の自動品質管理用に特別に設計されています。この位置決めシステムは、非常にコンパクトな設置面積で、センサーのZ軸と被検体のXY軸を同時に位置決めすることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.4 µm
ストローク: 1.5 mm - 100 mm
速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... オフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - ...

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... ： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 ...