Steinmeyerの顕微鏡ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - モーションコントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 40 mm - 繰り返し精度 ± 0.3 µm（一方向） ± 0.4 µm（双方向 - 荷重： → 19 N / ↑ 9 N - 最大速度： 200 mm/s - モーターナノモーション - ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - 繰り返し精度 ± 0.3μm、±0.5μm（一方向） ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - ...

積載量: 15 kg

... C オプション - マグネット、低マグネット、マグネットフリー仕様あり - 用途に合わせた材料選択と潤滑 - クリーンルーム用、研究室用、生産用バージョン - FMC400/450 コントローラーまたは PLC 接続のオプション - 3D設計、プロトタイプ、連続生産による顧客仕様の開発 応用分野 高解像度、安定性に優れた検査/顕微鏡、例：AFM、電子顕微鏡、イオン顕微鏡、走査型電子顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、半導体技術における透過光測定、ウェハー検査、ラボ顕微鏡、イメージングシステム、サンプル ...

ストローク: 10 mm
速度: 5 m/s
繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm

... 返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで装備可能 - 回転アプリケーション用回転テーブルとの組み合わせが可能 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望によりクラス 1 まで対応可能） - オプションでコントローラ ...

ストローク: 5 mm - 50 mm

... アルミニウム製で、スチール製リニアアジャスターより40％軽量。 - スプリングプリロードにより、優れた再現性と逆バックラッシュを排除。 - 中央に設置されたマイクロメーターまたは微調整ネジが付属しています。 アプリケーション - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 ...

ストローク: 5 mm - 40 mm

... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 耐荷重 50 - 200 N - トラベルレンジ 40 mm - 分解能マイクロメートル10μm - マイクロメーターによる微調節 15mm - 高さ57,5mm メリット - 大まかな位置決めのための高速調整 - 15mmトラベルのサイドマウントマイクロメーターヘッドによる微調節。 - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm

... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 最大耐荷重50 N - トラベルレンジ16mm - 分解能0.1μm メリット - 多軸位置決めシステムのための複数のエレメントを組み合わせるオプション - 異なる環境条件（例えば真空など）への適応性 - ...

ストローク: 1 mm - 8 mm

... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 角度誤差≦100°の場合 - 負荷容量200N - トラベルレンジ 8 mm - 分解能マイクロメートル10μm - 総サイズ（W×D） 120×100mm - 高さ73～81mm メリット - Z軸のリニアアジャスター - 高い再現性 - コンパクトなデザイン - ...

積載量: 1 kg - 12 kg

... DT310 大口径フラット回転ステージ フラットデザインで優れた加工精度を誇る高精度回転ステージは、幅広いアプリケーションを可能にします。開口部が大きいため、検査や医療産業での作業に特に適しています。 - 大口径のアプリケーションに最適 - 無制限の移動範囲 - ...