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Steinmeyerの小型ポジショニングステージ
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ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm
... MT53 高分解能マイクロステージ 用途:多目的マイクロステージ 利点:高分解能スキャン用 特徴:非常に高い分解能での位置決め - 真空:HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑:液体潤滑(10E-8mbarまで)/ドライ潤滑(10E-11mbarまで - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm
... 位置決めシステムとの組み合わせが可能 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン(ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能) - FMC400/450 コントローラー付きオプション 技術データ - 移動量: 100 mm - 繰返し精度: - ± 0.4 µm (一方向) ± 0.5 ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm
... MT130 モーター内蔵コンパクトリニアステージ ミニチュアリニアステージは、ローラーベアリングにより優れた真直度と平面度を提供します。駆動部は非常にコンパクトな位置決めシステムに完全に収納されています。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.6 mm/s
繰返し精度: 0.8 µm - 5 µm
... MT63 高精度マイクロステージ コンパクトな形状と内蔵モーターのおかげで、このマイクロステージはスペースが限られているアプリケーションに特に適しています。MT63は、高分解能、真直度、平面度の値を提供するだけでなく、特に魅力的な価格性能比を特徴としています。 組み合わせが簡単 MT63は、ステッピングモーターまたはDCモーターを使用でき、FMCシリーズの革新的なコントローラーを使用して簡単に制御できます。このマイクロステージを組み合わせて、2軸または3軸システムを構成することができます。 ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm
... MT53 高分解能マイクロステージ シュタインマイヤー・メカトロニック製品群の中で最小のステージは、非常に高い分解能を提供します。小型化設計により、スペースが限られ、高水準が要求される用途に最適です。 ピエゾモータによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域のステップを可能にします。真空および非磁性バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に最適です。 マイクロマシニングやマイクロアセンブリに最適です: MT53は ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... MT105 高いダイナミクスとスピードを備えたマイクロステージ MT105は、高いダイナミクスとスピードを特徴とするユニバーサル用マイクロステージです。そのサイズに比べ、ピエゾモータにより大きな移動量と非常に小さなステップサイズを実現しています。 フレキシブルでユニバーサル: MT105には精密クロスローラーベアリングが装備されています。オプションで、このマイクロステージに高荷重位置決め用モーターを2個搭載することも可能です。また、このステージはXYZシステムに簡単に組み合わせることができます ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1.5 µm - 5 µm
... MT95 モーター内蔵小型ポジショナー MT95 ミニチュアリニアステージは、クロスローラベアリングにより、優れた真直度と平坦度を提供します。駆動は歯付ベルトトランスミッションで方向転換されるため、軸内に完全に収容することができます。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
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