Steinmeyerの組合せモジュール配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ラック、防振、エンクロージャー、安全コンセプト - XYZ-Rx-Ry-Rzモーションのための自由度拡張 - 位置決めタスクのための3D設計による個別ソリューションの発見 ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: max 30.0 kg
ストローク: 100 mm - 200 mm

... 移動荷重用XYZ測定システム カスタマイズ可能 - 部品測定や高さのある部品の3Dプロファイルの取得に最適 - 荷重に左右されない高精度測定（±1 µm、移動物体でも測定可能 - 測定誤差を5 µrad以下に大幅に低減 - 完璧な真直度±0.5 µm、平面度±1 µm - 平坦度に依存しないインターフェースと調整機能 このXYZ位置決めシステムは、変動荷重や移動物体の高精度測定用に特別に設計されています。異なる重量クラスの物体を次々に測定しなければならない場合、従来の測定ステージではすぐに限界に達 ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
ストローク: 50 mm - 200 mm
速度: 30 mm/s

... 高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能： - 高精度自動検査プロセスに最適 - 0.3 µmまでの高い繰り返し精度 - 測定誤差を3μm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチ誤差とヨー誤差で測定対象物を移動させるような高精度測定アプリケーション向けに開発されました。例えば、高さのある部品の測定や3Dプロファイルの記録などがこれにあたります。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... コントローラー付きXYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.3μmまでの高精度繰り返し精度 - 30mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸に、独立した Z 軸ユニットを搭載した ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.5 µm
ストローク: 50 mm - 360 mm
速度: 50 mm/s - 200 mm/s

... XZ-Phiシステム カスタマイズ可能： - 高精度計測システムのセットアップに最適 - サブマイクロメータ領域で最大0.1 µm / 0.0001°の測定システム分解能 - 0.3 µmまでの高精度繰り返し精度 - 最大0.001°までの微細な回転運動 - 極めて長い耐用年数による低メンテナンス このX-Z-Phi多軸位置決めシステムは、高精度で耐久性の高い標準軸（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）で構成されており、これらを理想的に組み合わせることで、 ...

繰返し精度: 0.5 µm - 1.5 µm
ストローク: 50, 150, 300 mm
速度: 25 mm/s

... ラボ用XYZシステムとウェハ検査用XYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.5μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重の位置決めにおいて±0.5μmの完璧な平面度 PMT160 ...

繰返し精度: 0.4 µm - 2.2 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ労働・ウエハ技術システム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.4μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度での最小ステップと最高の信頼性 - 5kgまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 XZコンビネーションは、PMT160の高精度で耐久性の高い標準直動軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...