Steinmeyerの2軸ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - ...

速度: 180 mm/s - 270 mm/s
繰返し精度: 0.001 µm - 1 µm
積載量: 3 kg

... き高分解能回転ステージ HV/UHV、DUV、クリーンルームISO 6、n x 360°、rep 0.0005°、荷重3 kg、速度270°/秒 - クリーンルーム： ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能） - 真空：HV/UHVの全レンジ、最大10～11 mbar - 潤滑液：最大10-8 ...

ストローク: 20 mm - 200 mm
速度: 5 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.02 µm - 30 µm

... °C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - オプションでFMC400/450コントロールユニットを装着可能 - 技術データ - 移動範囲: 20 mm - 200 mm - 繰り返し精度 ± 0.02 µm（一方向） ± 0.03 µm（双方向） - 荷重： → 200 N ...

ストローク: 1 mm - 24 mm
速度: 1 mm/s - 5 mm/s
繰返し精度: 0.03 µm - 5 µm

... マグネットフリー式があります。 - 様々なモーターバリエーションナノモーションまたはピエゾモーター - XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 ...

ストローク: 5 mm - 40 mm

... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 耐荷重 50 - 200 N - トラベルレンジ 40 mm - 分解能マイクロメートル10μm - マイクロメーターによる微調節 15mm - 高さ57,5mm メリット - 大まかな位置決めのための高速調整 - 15mmトラベルのサイドマウントマイクロメーターヘッドによる微調節。 - ...