Steinmeyerの3軸配置システム

繰返し精度: 0.8 µm - 3.8 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 25 mm - 25 mm

... MP210-3 XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - 限られた設置スペースと0～40℃の温度変化に最適 - 最小スペースで最大25 mmの移動範囲 - 絶対位置の安定性（モーターオフ時 - 高い繰返し精度による安定した測定結果 このXYZシステムは、安定性の高い両面入射・透過光測定用の試料ホルダーの位置決めを可能にします。ローディングとフォーカシングは、25 ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... サンプルホルダー、ヘッド/センサー - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ラック、防振、エンクロージャー、安全コンセプト - XYZ-Rx-Ry-Rzモーションのための自由度拡張 - 位置決めタスクのための3D設計による個別ソリューションの発見 ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... - 最大2 kgのプロセスヘッド用Z軸 - 繰り返し精度：0.5 - ± 2 µm - 速度: 100 - 200 mm (XY) / 25 - 50 mm (Z) - 最大荷重20 N (Z) - 駆動：リニアモーター（アイアンレス）、エアベアリング（XY）｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー（Z） - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... 3D自動化用XYZガントリー・システム カスタマイズ可能 - 700 x 700 x 200 mmの大型移動により、自動化されたハイスループット・アプリケーションに最適 - 最大1000 mm/sの高速移動により、高ダイナミックで高速なサンプル処理が可能 - 繰り返し精度0.3 µmまでの高精度位置決め - 高い再現性と分解能を実現する優れた安定性 この3軸位置決めシステムは、様々なアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応することができます。Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたは測定ヘッド ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 µmまでの卓越した高い繰り返し精度 - ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... 連続的に移動します。プロファイルレールガイドは花崗岩に直接取り付けられ、サブミクロンの再現性の高い結果を得るための最適な走行特性を提供します。ガントリー設計により、サイクルラインへの統合や、複数のポータルを並べることが容易になります。 仕様 - 標準システムLA250 - (XY) / PLT165 (Z) - ストローク： 800 x 1300 x 200 mm - 繰り返し精度：0.7 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... 24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

繰返し精度: 2.5 µm - 6.5 µm
ストローク: 50 µm - 275 µm
速度: 30 mm/s - 50 mm/s

... 高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFM用にZ方向に可動するカンチレバーがあります。 仕様 - 標準システムPLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - ストローク600 x 600 x 100 x 100 mm - 繰り返し精度：0.2 - ±2 µm - 速度: ...