Steinmeyerのコンパクト配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... プロファイルレール (XY) / ボールネジ、ACサーボ (Z) - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラーFMCシリーズ、ACS、PLC統合 カスタマイズされたオプション - プロセス適合性、サンプルホルダー、ヘッド/センサー - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ラック、防振、エンクロージャー、安全コンセプト - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.01 µm - 2.5 µm
速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 長期信頼性の高い標準軸により、非常に長い耐用年数と低メンテナンスを実現 この9軸位置決めシステムは、注射ノズル、ステント、小型切削工具、カニューレ、その他の回転対称部品など、顕微鏡や高解像度カメラであらゆる角度からサンプルを観察することを可能にします。KLT310の堅牢で剛性の高い標準コンポーネントとXYZ用PMT160で構成され、さまざまなタイプの顕微鏡を取り付けることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 1, 0.8 µm
積載量: 5 kg
ストローク: 5, 15 mm

... 1214の使用による理想的な力の伝達 - 正確な動作パラメータで最適化された価格性能比 このアライナーでは、平面内で15 mmの2次平行移動と、± 5°までの垂直周りの回転が可能です。R(Phi)の動きはXYの組み合わせから得られます。 仕様 - 標準コンポーネントLA85 (XYRz) - トラベル：± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - 繰り返し精度：± 1.6 - ± 2.1 µm (XY) / ± 0.001 ...

繰返し精度: 0.4, 0.7 µm
積載量: 28, 10, 0.5 kg
ストローク: 3, 5 mm

... アライメントに最適 - 開口部730 x 730 mmの大型サンプルに最適 - 最大0.4 µm/±0.0002°の高繰り返し精度、28 kgまでの荷重に対応 - 990 x 1090 x 225 mmの超フラットデザイン - エアベアリングとダイレクトドライブによる低メンテナンス、低パーティクル このアライナーでは、平面内で±5mmの第2並進運動と±3°の垂直周りの回転が実現されています。R(Phi)の動きはXY軸の組み合わせの結果です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm
積載量: 500 g
ストローク: 10 mm

... MP53-3 小型XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - コンパクトなアプリケーションに最適 - サブミクロンレンジの分解能 - 最大5Nの負荷容量 - 高精度位置決めによる信頼性と安定した品質 MP53位置決めシステムは、X、Y、Zモーション用の小型化された3軸システムで、移動範囲は10mmです。ピエゾモータを搭載し、数ナノメートルまでの位置決めが可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.8 µm - 4 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高分解能 - 限られた建設スペースに最適 - 最大10 Nの負荷容量 - 細径スピンドルによるアプリケーションの微調整 - プロファイルレールベアリングによる長寿命と高精度な動作 この小型X-Y-Zシステムは、スペースが限られた位置決めアプリケーションに最適です。細径スピンドルとの組み合わせにより、XYZステージは非常に高い分解能を実現します。同時に、この高精度位置決めシステムは、非常に優れた価格性能比を提供します。 ...

繰返し精度: 1.5 µm - 3.5 µm
積載量: 663 g
ストローク: 40 mm

... MP95-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能： - コンポーネントや追加軸のアライメントに最適 - XYZの移動量は最大40 mmで、コンパクトなサイズ（145 x 95 x 130 mm）を実現 - 非常に高分解能で、横3方向のステップ補正が可能 - ...

繰返し精度: 2.3 µm - 4.5 µm
積載量: 4.5 kg
ストローク: 50 µm - 50 µm

... MP130-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高剛性によるμm精度 - 最大30 mm/sの速度で高ダイナミクスを実現 - 最大荷重45 N - クロスローラベアリングガイドによる最小限の摩擦抵抗 スクリュードライブとDCまたはステッピングモーターを備えたコンパクトな3軸アライメントシステムは、当社のFMCシリーズコントローラーを使用して簡単に制御できます。適切なコミッショニングソフトウェアFMC ...