Steinmeyerのクロスローラーポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - モーションコントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 40 mm - 繰り返し精度 ± 0.3 µm（一方向） ± 0.4 µm（双方向 - 荷重： → 19 N / ↑ 9 N - ...

ストローク: 1 mm - 130 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... ISO 14644-1用バージョン（ご要望によりクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 60 mm - 130 mm - 繰り返し精度 ± 2.8μm、±0.4μm（一方向） ± 4 µm、± 0.5 ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... 真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 50 mm - 100 mm - 繰り返し精度 ± 2.4 µm、± 0.4 µm（一方向） ± 1.9 µm（双方向） - 荷重： → 44 N / ↑ 120 ...

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 100 mm - 300 mm - 繰り返し精度 ± 0.015 µm (一方向) ± 0.02 µm (双方向) - ...

ストローク: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... 1.9μm、±0.4μm（一方向） ± 2.9 µm、± 0.5 µm（双方向） - 荷重： → 45 N / ↑ 40 N - 最大速度： 8.4 mm/s - モーターステッピングモーター - ベアリング: クロスローラベアリング ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm

... じてクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル：16 mm - 繰返し精度： - ± 1μm、±1.7μm（一方向） ± 1.7μm、± 2μm（双方向） - 荷重： → 50 N / ↑ 45 N - 最大速度： 2.2 mm/s - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm

... 1まで対応可能） - アプリケーションに合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラーFMC400/450（オプション 技術データ - トラベル: 16 mm - 繰返し精度： - ±2.9μm、±0.7μm（一方向） ± ...