Steinmeyerのウェハー運搬用ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA170）との組み合わせが可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - モーションコントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 40 mm - 繰り返し精度 ± 0.3 µm（一方向） ± 0.4 µm（双方向 - 荷重： → 19 N / ↑ 9 N - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - ...

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... LA97 ナノメートルリニアステージ 用途：スキャニング 利点：ナノメータ位置決め、垂直方向にも対応 特徴：極限の分解能と最高の剛性を備えた位置決め 2（または4）個のモーターを装備可能 - 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 10E-8 mbar以下の液体潤滑 / 10E-11 ...

ストローク: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LA95 - 用途：搬送ステージ、スキャニングステージ - 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 - 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは ボールスクリュー - 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁気 - 潤滑： ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm

... 精密高荷重垂直リフティングステージ 用途：真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 最大10E-8 ...

ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm

... HDT255 高荷重開口リフティングテーブル 用途：真空リフティングステージ 利点：-高剛性、高荷重、開口部 特徴：開口部付きウェッジステージ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV ...

ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... HT240 精密高荷重垂直昇降ステージ アプリケーション真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10-11 mbar - ...