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... VMDは、ワイドビューのクイックビデオ測定機と高精度ビデオ測定機の統合モデルです。 特徴 - ダブル光学系構成により、より高い測定精度と効率性を実現 - それは、異なるサイズと公差のための特定のセクターの測定要件を満たしています。 - 3軸精密リニアガイド - 高精度と優れた安定性を提供する花崗岩のボディ構造 - ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... これら2つのレイヤー間の偏差として定義されます。オーバーレイエラー測定は、2つの異なるオーバーレイマークの偏差を計算する画像処理プロセスで、ほとんどの場合、異なるプロセスで生成され、異なる材料で構成されています。 オーバーレイ測定では、ボックス・イン・ボックス、フレーム・イン・フレーム、Lバー、サークル・イン・サークル、クロス・イン・クロス、またはカスタマイズされた構造がサポートされています。 重要な寸法 光学測定は非接触、非破壊の測定技術であり、高精度で高速です。構造幅は、画像から強度情報を抽出することで ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... これら2つのレイヤー間の偏差として定義されます。オーバーレイエラー測定は、2つの異なるオーバーレイマークの偏差を計算する画像処理プロセスで、ほとんどの場合、異なるプロセスで生成され、異なる材料で構成されています。 オーバーレイ測定では、ボックス・イン・ボックス、フレーム・イン・フレーム、Lバー、サークル・イン・サークル、クロス・イン・クロス、またはカスタマイズされた構造がサポートされています。 重要寸法 光学測定は非接触、非破壊の測定技術であり、高精度で高速です。構造幅は、画像から強度情報を抽出することで ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... 強度画像は、ノイズや変形による干渉を防ぐために処理する必要があります。 TZTEKの計測システムは、このような干渉を除去する機能を備えています。構造幅が0.7μm以下の場合、UV光を適用することができます。 膜厚測定 透明・半透明の誘電体膜（レジスト）を3層まで測定できます。自動校正機能を内蔵しています。 主な機能 -膜厚、限界寸法の測定が可能 -ウェーハサイズ200mmまで対応可能 -自動校正、自動測定 -SECS/GEM -低メンテナンスコスト、安定性、信頼性 ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... に必要とされる高精度で再現性の高いマスク計測システムを提供しています。マスクはGOG、PSM、その他があります。 FabでのマスクIQCの要求に対して、TZTEKはペリクルでマスクを保護するための長い作動距離の対物レンズを提供します。マスクのCD測定のために、システムは反射および透過モードの可視およびUV照明を提供します。UV照明は300nmまでの構造幅の測定に使用でき、再現性(3シグマ)はほとんど数ナノメートルの範囲です。 主な特徴 -重要寸法測定、欠陥検査、マスクレビュー -最大14インチ ...
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... とされる高精度で再現性の高いマスク計測システムを提供しています。マスクはGOG、PSM、その他があります。 FabでのマスクIQCの要求に対して、TZTEKはペリクルでマスクを保護するための長い作動距離の対物レンズを提供します。マスクのCD測定のために、システムは反射および透過モードの可視およびUV照明を提供します。UV照明は300nmまでの構造幅の測定に使用でき、再現性(3シグマ)はほとんど数ナノメートルの範囲です。 主な特徴 -マスククリティカル寸法測定 -最大6インチまでのマスクサイズに対応 ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... とされる高精度で再現性の高いマスク計測システムを提供しています。マスクはGOG、PSM、その他があります。 FabでのマスクIQCの要求に対して、TZTEKはペリクルでマスクを保護するための長い作動距離の対物レンズを提供します。マスクのCD測定のために、システムは反射および透過モードの可視およびUV照明を提供します。UV照明は300nmまでの構造幅の測定に使用でき、再現性(3シグマ)はほとんど数ナノメートルの範囲です。 主な特徴 -マスク膜厚と限界寸法の測定 -可視光、紫外光、赤外光が使用可能 ...
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... TZTEKの赤外線システムは、世界的に主導的な地位を占めています。このシステムは、高性能赤外線カメラと設計に最適化された赤外線光学系を組み合わせ、優れた解像度とコントラストの画像を生成します。 主な特長 -最適化された赤外光学システム、赤外光波長1500 ...
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... TZTEKの赤外線システムは、世界的に主導的な地位を占めています。このシステムは、高性能赤外線カメラと設計に最適化された赤外線光学系を組み合わせ、優れた解像度とコントラストの画像を生成します。 主な特長 -カスタマイズされたハンドリングソリューション -反射および透過モードの可視および赤外照明の組み合わせ -SECS/GEM -低メンテナンスコスト、安定性、信頼性 ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... TZTEKの赤外線システムは、世界的に主導的な地位を占めています。このシステムは、高性能赤外線カメラと設計に最適化された赤外線光学系を組み合わせ、優れた解像度とコントラストの画像を生成します。 主な特長 -自動測定 -可視光と赤外光の反射・透過モードの組み合わせ -SECS/GEM -低メンテナンスコスト、安定性、信頼性 ...
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