光学式干渉計

高速性、高精度と高い可搬性を誇る XL-80 システムは、キャリブレーション用レーザーシステムのベストセラー製品です。高機能なソフトウェアと優れたパフォーマンスが統合された XL-80 を使用することで、業績を大幅に向上できます。 当社は、25 年以上にわたってレーザーシステムの設計、製造、および販売を行ってきました。XL-80 は、その経験をもとに最先端のシステム性能と操作上のメリットをユーザーに提供するために開発されました。

RLD10 ディテクターヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。RLD10 ディテクターヘッドには、出力方向が 0°と 90°のものがあります。 特長とメリット 2 軸ソリューション - 2 軸の平面鏡システムは、XY ステージアプリケーションにとって理想的なソリューションです。 高分解能 - 平面鏡システムは、反射鏡システムに比べて高い分解能が必要になるアプリケーションにも活用できます。 ...

マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。現在ご提供している干渉計は、高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚さ測定のためのIMS5400-TH、ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSの3種類です。 特徴 • - ナノメートル精度の絶対距離測定 • ...

新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高：分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • ...

... 1.高精度な測定が可能です。高精度環境補正ユニットにより、周囲温度、圧力、湿度、材料温度による測定結果への影響を排除します。レーザー熱周波数安定化制御システムの使用により、レーザーの長期周波数安定性を確保できます。 2.それは直線性、角度、直線性、垂直性および他の幾何学的な変数を測定できます; それは CNC の工作機械、座標測定機械および他の精密運動装置のためのガイド・レールの線形位置の正確さそして繰り返しの位置の正確さを測定できます; それはガイド・レールのピッチ角、振動角度、垂直性および直線性、さらにそれを工作機械の回転式軸線の目盛りを付けることができます測定することができます。 3.ユーザーによる補正設定により、工作機械の校正に必要な誤差補正テーブルを自動生成します。 4.動的測定（変位-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）、振幅測定、周波数解析の機能により、工作機械の振動試験、ボールねじの動的特性、駆動システムの応答特性、ガイドレールの動的特性などの解析が可能です。 5.GB、ISO、BS、ANSI、DIN、JISなどの国内および国際規格を内蔵しています。 ...

Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間で、光学測定技術は飛躍的に進歩しました。 ...

振動が生じやすい環境で信頼性の高い測定を行うために設計された干渉計。高性能望遠鏡のテストから光学系のアクティブアライメントのためのライブ位相フィードバックまで、幅広いアプリケーションのニーズに対応できる汎用性と柔軟性を備えています。 DynaFiz®の光効率の良い光学設計とZYGOの高出力HeNeレーザー光源を組み合わせることで、振動を「フリーズ」させる高いカメラシャッター速度での動作が可能になります。この動的能力は、従来の位相シフト測定には過酷すぎる環境での信頼性の高い測定を可能にします。

干渉計の分解能を最大限に高めた Verifire HDとVerifire HDX干渉計システムは、光学表面の比類なき優れた中空間周波数特性評価を提供します。 単にシステムのピクセル数を増やすだけでは十分ではありません。ピクセル数が限られた干渉計のパフォーマンスを保証し、最も要求の厳しいアプリケーションに必要な表面のディテールを捉えるには、厳密な光学設計が求められます。 ZYGO独自のITF (Instrument Transfer Function) 評価手法により、性能がアプリケーションに必要な機能を備えた設計に適合していることが保証されます。

... 自由口径100mmのVI-direct干渉計は、直径25～100mmの光学部品の検査が可能です。波長632.8nmのHeNeレーザーを搭載しています。 USB 3ポート経由でPCに直接接続、フレームグラバー不要。 - 高解像度デジタルカメラ（3088x2076ピクセル） - 露光時間が短いため、振動の影響を受けにくい - 光学的および機械的アクセサリーが豊富 - 垂直、水平、斜めのアングルで使用可能なため、お客様独自のアレンジが可能 - コンパクト設計のため、アプリケーション関連のワークステーションに最適に統合可能 ...

... マイクロ干渉計VI-directは、平坦度検査の範囲を最小径の領域まで広げます。フィゾー型干渉計は、直径約0.8mmから3.6mmの光学部品の表面平坦度を測定することができます。コストパフォーマンスに優れたマイクロ干渉計VI-directは、マイクロプリズム、レーザー結晶、ファイバー端面などの光学部品の検査に使用できます。 - USB 3ポート経由でPCに直接接続、フレームグラバー不要 - 高解像度のデジタルカメラ（3088x2076ピクセル） - 露光時間が短いため、振動の影響を受けにくい ...

... 測定ステーション干渉計VI-direct 28 SULは、球面の形状や半径偏差を迅速に検査することができます。オプションのINTOMATIK-Sソフトウェアは、インターフェログラムの評価に使用できます。 - USB 3ポート経由でVideo-Mini-PCに直接接続可能 - 高解像度デジタルカメラ（3088x2076ピクセル） - 短い露光時間による振動の影響を受けにくい - 半径測定用表示ユニット - アパーチャストップセット - XY変換によるサンプルサポート ...

... NOVACAMTM 3D計測システムの中核をなすMICROCAMTM-3D/4D干渉計は、スキャニングプローブに光源を供給し、計測の光学的・電子的処理を行います。 ノヴァカムの干渉計MICROCAM-3DおよびMICROCAM-4Dは、以下の特長を備えています： - ミクロン精度の3D測定 - 粗さ、形状（GD&Tパラメータ）、厚み、振動、欠陥 - 最大100 kHzの高速収集レート、つまり毎秒100,000点の3Dポイント測定 - 周囲の照明、空気の擾乱、ビームの切断の影響を受けない測定値 - ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 高精度長さ測定用レーザー干渉計システム - 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - トリプルミラー、球面ミラー、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡は最大±22.5°まで傾斜可能 - コンパクトで堅牢な設計 - センサーハウジングは防滴構造 - アルミ、ステンレス、インバー製センサーヘッドの設計（オプション - 政府規格へのトレーサビリティ - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 2本の平行な測定ビームによる高安定な差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - ディファレンシャル測定による環境影響の最小化 - 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：21 mm - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 当社の超安定差動レーザー干渉計 ...

... 高精度非接触変位計測 高精度な変位計測のために、スマーアクトは干渉計PICOSCALEを提供します。 - 1台で3つの平行レーザー干渉計を使用した3D測定が可能 - 測定帯域幅は最大2.5 MHz（サンプルレート10 MHz）、分解能は最大1 pm1 - ほとんどの材料で測定が可能（プラスチック、ガラス、金属、水まで） - 用途や環境（真空や極低温を含む）に応じて、幅広いセンサヘッドを用意 - オプションのモジュールを使用することで、完全なラボ用測定・制御機器に拡張可能 - ...

... コントローラーには、レーザーと検出用電子機器が搭載されており、複数のインターフェースを介してすべてのデータを提供します。 PICOSCALE干渉計は、非接触で変位を測定するための強力なシステムです。PICOSCALE干渉計コントローラーには、レーザー光源と、光信号を評価するために必要なすべての電子機器が搭載されています。この信号は、光ファイバを介してコントローラに接続されたセンサヘッドで生成されます。ビームスプリッターにより、レーザービームは参照光と測定光に分けられ、それぞれ参照ミラー（通常はセンサーヘッド内）とターゲットで反射されます。マイケルソンの原理により、ターゲットの反射率を考慮する必要はほとんどありません。PICOSCALE干渉計コントローラーは、強力なファームウェアモジュール、便利なソフトウェア、多彩なアクセサリーにより、新規または既存の測定セットアップに簡単に組み込むことができます。 出力信号 チャンネル数：3 データレート[MHz] ...

... ティームフォトニクスは、ピコメータスケールの変位や振動を測定するための、コンパクトで安定した高性能な干渉計を新たに開発し、提供しています。 ティームフォトニクスの PicoMove 干渉計は、高安定性アーキテクチャのシングルチップ集積をベースにしており、超低ノイズでの計測を実現します。 目に安全な1.55µmの動作波長は、市販のテレコム光源との互換性を提供します。 また、光ビームのアライメントを容易にするため、可視光波長にも対応したセンサー設計となっています。ティームでは、低熱膨張材料や超高真空環境用のパッケージングオプションを提案しています。測定システムの電気部分（レーザー光源、ディテクタ）は、信頼性の高いファイバーピグテーリングにより遠隔操作されます。 ...