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マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。現在ご提供している干渉計は、高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚さ測定のためのIMS5400-TH、ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSの3種類です。 特徴 • - ナノメートル精度の絶対距離測定 • ...
新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高：分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • ...
... IMS5420-TH白色光干渉計は、単結晶シリコンウェーハの工業用膜厚測定に新たな展望を開きます。広帯域のスーパールミネッセントダイオード（SLED）を搭載しているため、IMS5420-THは、アンドープ、ドープ、高ドープのSIウェハーに使用できます。厚さ測定範囲は0.05～1.05 mmです。エアギャップの測定可能厚さは最大4 mmです。 半導体製造では、最高の精度が不可欠です。重要な工程はブランクのラッピングで、これによってブランクは均一な厚さになります。この厚みを連続的に制御するために、干渉計 ...
... 分散偏光クロストーク（X-Talk）アナライザ（PXA-1000）は、偏光維持（PM）ファイバーの長さに沿って応力誘起偏光クロスカップリングを分析することにより、空間分解応力情報を得るために設計された白色光干渉計の拡張バージョンです。 特許出願中の光学設計は、強力なゼロ次干渉を排除し、従来の白色光干渉計に共通するマルチカップリング干渉を低減します。どちらも測定信号にゴーストピークを引き起こす可能性があります。 ゴーストピークを除去することで、PXA-1000は実際のX-トークピークの大きさと位置を明確に識別できるため、従来の白色干渉計よりも高い測定感度、高いダイナミックレンジ、高い空間測定精度が得られます。 ...
MarSurf WI 50Mは、表面の3次元測定と解析を行う強力な表面形状測定機であり、非接触の、材料に依存しない、 高速な測定が可能です。 高性能なエントリーレベルのソリューション サブナノメートル領域での精密測定を、新しいMarSurfWI 50 Mで簡単に。直感的なソフトウェアのユーザーガイドと非常に使いやすいデザインで、ラボや品質管理での日常的な使用に最適な3D測定器です。 新しいWI 50 Mは、ナノメートル領域での測定タスクのすべての要件を満たし、最高のパフォーマンスと素晴らしいコストパフォーマンスを提供します。必要最小限を満たすアプローチ、コンパクトなデザイン、広い設置スペースなど、「最適なエントリーレベルのソリューション」という評判にふさわしいツールです。 ...
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