パルスマグネトロン

... オングストローム・サイエンス社の円形マグネトロンは、Angstrom Advantage™と、構成とプロセス性能においてほぼ無限の可能性を提供する他の多くの設計特徴により、スパッタリング業界の標準として認識されるようになりました。 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー用の最も複雑なクラスターアセンブリを含む、あらゆる新規またはレトロフィットアプリケーションに理想的です。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波パワーに対応します。 ISO ...

... より多くの産業がマグネトロンスパッタリングのスピード、制御性、そして最終的な利益を発見するにつれて、アングストローム・サイエンシズは、これらの大規模で高速な製造プロセスの出力を最大化するツールを開発している。 より広範なソリューション 極めて広範な基板にコーティングする必要がある場合、または極めて高いスループットを達成する必要がある場合、リニアマグネトロンは完璧なソリューションを提供します。 特許取得の利点 オングストローム・サイエンスのリニアマグネトロンは、特許取得の完全カプセル化されたプロファイルNdFeB希土類磁石と乱流水流を組み込み、比類のない性能を提供します。 標準継手 当社では、ISO ...

... 高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（High Power Impulse Magnetron Sputtering、HiPIMS）は、パルススパッタリング技術の比較的最近の進歩であり、スパッタされた原子の大部分をイオン化するプラズマ放電を発生させるために、非常に高エネルギーで持続時間の短いパルスを使用する。イオン化されたフラックスは、コーティング特性の制御を高めるために誘導することができる。 オングストローム・サイエンス社は、1500ワット/in2以上の極端な出力密度を維持できる一連のスパッタリングカソードを開発しました。特許取得済みの乱流ターゲット冷却に加え、アングストローム・サイエンシズの高インパルスパワーパルスマグネトロンスパッタリングカソードには、プロセス動作中に最適な冷却を維持するため、アノード本体と取り付けフランジに追加の冷却チャンネルが組み込まれています。 その他の特徴として、ターゲット寿命を通じてターゲット表面の電界強度を一定に保つパッシブおよびアクティブマグネットアレイがあり、これはHIPIMSプロセスにおいてアーク放電の低減とスパッタされた材料の最適なイオン化の両方に重要です。 これらの特徴は、固体アノード構造とともに、HiPIMSやあらゆる高出力長時間稼働アプリケーションのような要求の厳しいアプリケーションにおいて、一貫した再現性のある性能を可能にします。 HiPIMSマグネトロンは直接冷却式で、円形、直線、円筒形の設計があります。 ...

... オングストローム・サイエンス社は、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高い均一性とターゲット利用率、あるいはその2つの完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 Angstrom Advantage™がお客様のプロセスに最適化されることをお約束します。 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要であろうとなかろうと、アングストローム・サイエンスは、お客様のプロセスに最適化されたAngstrom ...

... 間接冷却マグネトロンは、円形カソードの冷却水とスパッタリングターゲットの間に中間壁を組み込んでいる。この壁は、ターゲットが "スパッタリングスルー "された場合に発生する可能性のある水漏れを防止するために、水と真空の恒久的なシールを形成する。 Angstrom Sciencesの1″-4″（25mm-100mm）間接冷却式円形マグネトロンには、様々な厚さのスパッタリングターゲットに対応するネジ式ターゲットクランプとアノードシールドが組み込まれている。ネジ式設計のターゲット交換は素早く簡単で、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプと陽極シールドは、コンパクトな円形マグネトロンヘッドを作ります。これにより、オングストローム・サイエンスの円形マグネトロンは、限られた真空チャンバーに適合し、従来のマグネトロンよりも表面積の割に大きな基板をスパッタリングすることができる。 間接冷却マグネトロンは低電力アプリケーションに推奨され、研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。 間接冷却マグネトロンの詳細については、412-469-8466までお電話いただくか、オンラインでお問い合わせください。 ...

... アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のMRC型マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom Advantage™をもたらします。 経済的なソリューション MRCマグネットレトロフィットは、既存のMRCアセンブリ全体を交換するコストの約3分の1で、当社のプロファイルドマグネットテクノロジーの性能上の利点を提供します。 -完全に密閉された磁石 -乱流防止 -熱効率の向上 -迅速で簡単なドロップイン設計 -シームレスな統合 -高利用率アレイ ...

... オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom ...