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... ドロップインとサイドマウントの完全なアセンブリは、3″（75mm）または5″（125mm）のバッキングチューブ直径を使用し、最大4メートルの長さで利用可能であり、最小のソース間間隔を持つ複数のインラインアレイは、コンパクトな高スループット生産システムで利用可能である。 ONYX-Revolution™は、どのようなターゲットタイプにも適合するようにカスタマイズされたターンアラウンドで、ユニバーサルでコスト効率の良いマグネットデザインを採用しています。また、低コストで長期的な投資と信頼性を実現するために、既製のコンポーネントで設計されています。 オングストローム・サイエンスの特許取得済みプロファイル・マグネット技術は、ソースと基板間の蒸着プロファイルをより正常なものにします。改善された蒸着プロファイルは、チャンバー壁へのデブリ蓄積を低減します。 さらに、アングストローム・サイエンシズのマグネットアレイは、より高い磁場強度を提供するため、ユーザーはスパッタリングプロセスを低電力で実行し、一般的な蒸着速度を達成することができます。 本来、シリンドリカルマグネトロンは、同じ空間面積を持つプレーナーマグネトロンの最大3倍の量のターゲット材料を保持することができます。Angstrom ...
Angstrom Sciences, Inc.
... オングストロームサイエンスでは、世界で最も先進的で信頼性の高いマグネトロンスパッタリングカソードを設計、エンジニアリング、製造しています。また、業界最長の2年間保証で、製品の品質を保証しています。 また、マグネトロンの寿命を通じて最高品質の性能を保証することをお約束します。ONYX®や他のマグネトロンアセンブリの緊急時やメンテナンスの必要性に対して、包括的な修理とリビルドサービスを提供しているのはそのためです。 -ソースの分解 -機械的および電気的損傷チェック -適合および公差検査 -Oリング交換 -ネジ交換 -全体クリーニング -マグネット・チェック：封入、クリーニング、マップ作成 -再組み立て -テスト：真空、電気、水（テストシートあり） -水と電気ラインの交換（必要な場合） ...
Angstrom Sciences, Inc.
... ロータリーマグネトロンは、マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形マグネトロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリーマグネトロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転するマグネットセットによって一掃されます。 オングストローム・サイエンス社は、直径4″(100mm)から16″(406mm)までのロータリーマグネトロンを提供しており、調整可能な磁石構成でプロセスの最適化と均一性の向上を可能にするように設計されています。当社のマグネトロンは、内部または外部構成で取り付けることができます。 回転マグネトロンは、基板を動かすことなく優れた均一性を提供します。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のMRC型マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom Advantage™をもたらします。 経済的なソリューション MRCマグネットレトロフィットは、既存のMRCアセンブリ全体を交換するコストの約3分の1で、当社のプロファイルドマグネットテクノロジーの性能上の利点を提供します。 -完全に密閉された磁石 -乱流防止 -熱効率の向上 -迅速で簡単なドロップイン設計 -シームレスな統合 -高利用率アレイ ...
Angstrom Sciences, Inc.
... オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 高出力RFマグネトロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRFマグネトロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、マグネトロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングストロームサイエンスのハイパワーRFマグネトロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に均一に供給するように設計されています。 ハイパワーRFマグネトロンは、サーキュラーとリニアの両方の構成でご利用いただけます。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 当社の最大の内部実装エンドブロックであるSCは、最大4000mmまでのターゲットを扱うことができ、最大200kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... 当社の最新製品であるcMCは、中型内部マウントエンドブロックであるMCのシンナーバージョンです。 cMCは最大2500mmまでのターゲットを扱うことができ、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCIエンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... TCシリーズ内部エンドブロックは、最もコンパクトな設計で独自の電力供給技術を備えています。 TCは最大1500mmまでのターゲットを扱うことができ、出力定格は40kWのDCまたは80kHzのMFACです。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... MMは、中型外付エンドブロックです。 最大2500mm（サポート）のターゲットに対応でき、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 MMシリーズ外部マウントエンドブロックは、当社のMCシリーズエンドブロックと同じ特許技術を使用して、コンパクトな設計で卓越した価値、性能、信頼性を提供します。 カスタマイズ可能なドライブシャフト長さ コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ特許取得済みの電力供給技術 特許取得済みのターゲットウォーターフィルとドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 内部エンドブロックよりも広い基板カバレッジ ほとんどのチャンバデザインに適合 すべてのユーティリティは外部にあり、ターゲット切り替え 高パッキング密度; ...
Sputtering Components
... CMは、当社の最もコンパクトな外部実装エンドブロックです。 最大1000mmのターゲットに対応でき、最大20kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 CM外部実装エンドブロックは、非常にコンパクトで軽量な設計で高性能と信頼性を兼ね備えています。 特長 カスタマイズ可能なドライブシャフト長 コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ 特許取得済みの給電技術 特許取得済みのターゲット水の充填とドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 広い内部エンドブロックよりも基板のカバレッジ ほとんどのチャンバ設計に適合 すべてのユーティリティは外部であり、ターゲット切り替え中に取り付けられたままです 高パッキング密度; ...
Sputtering Components
... Swing CathodeTMエンドブロックを使用すると、回転ターゲットチューブから独立したプログラム可能な回転軸にマグネットパックがスイングするため、ディスプレイや3Dパーツコーティングに最適なシステムとなります。 Swing CathodeTMは、他のエンドブロックと同じ特許技術を使用して、優れた価値、性能、信頼性をコンパクトなパッケージで提供しています。 特長 お客様がプログラム可能なマグネットパックスイングモーションを使用して静的基板をコーティングするように設計 カスタマイズ可能なドライブシャフト長さ コンパクトで柔軟なフォームファクター 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ シンプルなデザイン-少ないパーツ 特許取得済みのターゲット給水/排水機能 メリット ディスプレイまたは3Dパーツコーティングに最適 高パッキング密度; ...
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