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... アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存の円筒形マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発しました。 経済的なソリューション 円筒形マグネットのレトロフィットは、既存の円筒形アセンブリを交換するコストの約3分の1で、上記のすべての利点を提供します。 -磁石はステンレス鋼で完全に密閉されています。 -高効率の水流 -既存のすべてのターゲット設計と互換性あり -シームレスな統合 -調整可能な均一性 -高度なターンアラウンドにより、より平坦なエロージョンプロファイルが得られます。 -蒸着プロファイルの改善により、チャンバー壁面へのデブリ蓄積を低減。 -より高い電界強度が、より低い出力レベルで一般的な蒸着速度を達成。 ...
... CMは、当社の最もコンパクトな外部実装エンドブロックです。 最大1000mmのターゲットに対応でき、最大20kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 CM外部実装エンドブロックは、非常にコンパクトで軽量な設計で高性能と信頼性を兼ね備えています。 特長 カスタマイズ可能なドライブシャフト長 コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ 特許取得済みの給電技術 特許取得済みのターゲット水の充填とドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 広い内部エンドブロックよりも基板のカバレッジ ほとんどのチャンバ設計に適合 すべてのユーティリティは外部であり、ターゲット切り替え中に取り付けられたままです 高パッキング密度; ...
... SIDABREは、平面および円筒形状を有するシングルおよびデュアルマグネトロンを開発し、別個の部品として使用することも、システムに統合することもできます。 これらのデバイスは、クランプまたは接着ターゲット、直接または間接冷却、外部または内部の電源および冷却水の接続などの特別な機能を装備することができます。 矩形ターゲットと円筒ターゲットの最大使用 可能長さは 2.0 m で、円形ターゲットの最大直径は 400 mm です。 私たちは、特定のプロセスの要件に応じて、ターゲットまたは磁石のいずれかで回転を行う円筒形の回転可能なマグネトロンを開発します。 ...
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